一、单级无油真空泵工作原理
单级双级旋片真空泵的抽气原理一样，理论极限真空一样，你的问题在于新泵和老泵的抽速是否一样，抽真空是一个动态平衡，就像是空调制冷，1P和3P功率的空调制冷都能设定到16°，但是同样对一个房间制冷，3P的能把房间温度降到16°，1P的功率可能就不够。
二、单级无油真空泵工作原理图
顾名思义，双级旋片真空泵是在单级旋片真空的基础上二次排气，两级的构造基本相同，一级的排气口连接二级的进气口，二次压缩后再排出。
这样经过两级排气，真空度较一级排气略高，密封效果更好，返油返气可能性降低。
三、单级无油真空泵工作原理图解
定片真空泵的工作原理：定片式转动泵的原理是：在一个圆筒形定子内有一个偏心装置的圆柱作为转子，用弹簧控制的单根滑板使定子内部空间分离为A, B两部分。
在箱子以定子的中心为心轴而沿着箭头指示的方向旋转时，空间A的体积不断扩大、压强降低而使外界气体从进口c抽入;空间B的体积不断缩小，而使B内的气体压力增大通过活阀而从出口D逸出。
为了要使泵的极限真空(即在泵工作了足够时间后能达的最低压强，位时泵的抽气速率实际上等于零更高，通常使用两个这样的定子一转子组串联，以一组的出口作为另一组的进口，用同一只电动机拖动，称为双级转动泵。
全部泵体则浸没在油内，以达到密封和润滑的目的。
这种泵的特点是结构简单、使用寿命较长，检修也很容易。
定片式真空泵抽速较小且有单级、双级之分，双级泵的极限真空可达10-1Pa。但是在体积较大时(即抽气速率要求较大)，因为滑板难于保证密封而很少使用。旋片真空泵工作原理旋片式真空泵的结构和定片式真空泵的结构有着极为相似，不同在于虚拟空间的隔离以及产生做功的原理不同，例如某一特定空间隔成A, B两部分，运用叶片与定子转子制造一接触点F。
转子在工作中，以其为中心，对进口和出口起到吸气与排气的两种功效。
当然旋片式真空泵可以通过转子串联的方式提高真空值，以达到工业应用领域的需求。
例如常见的雅之雷德好凯德真空泵2RH系列是典型的双级旋片真空泵，可以同双转子的原理，抽取低至0.5Pa的高真空值。
四、无油真空泵结构图
真空泵机型太小。真空度不够可能是选错机型，建议更换更大的机型。
错误的电源频率。调整对应电源频率即可。
错误的马达旋转方向。更换马达旋转方向。
系统管路真空泄露。检查系统管路并做气密确认。
泵浦油失效。更换泵浦油。
排气过滤器阻塞。更换新排气过滤器。
五、无油真空泵工作原理图
油式旋片真空泵主要由定子、转子、旋片、定盖、弹簧等零件组成。
在泵腔内偏心地安装带有旋片的转子，转子槽中装有旋片。转子和旋片将定子腔分成吸气和排气两部分。当转子在定子腔内旋转时周期性地将进气口方面容积逐渐扩大而吸入气体，同时逐渐缩小排气口一侧的容积将已吸入的气体压缩并从排气口排出。
旋转时将真空泵油抛向泵壳形成于泵壳同心的油环，油环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小的旋转变容吸排气腔。