白光粗糙度测量仪(白光干涉仪测量精度)

海潮机械 2023-01-05 06:38 编辑:admin 150阅读

1. 白光干涉仪测量精度

原理:它是以白光干涉技术为原理,光 源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束,一束经被测表面反射回来,另外一束光经参考镜反射,两束反射光 Z终汇聚并发生干涉,显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号,通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。

2. 白光干涉仪测量精度的方法

干涉原理上来说,白光和激光没有本质区别,就是频率有差别而已。但目前使用的大部分迈克尔逊干涉仪是白光式的。

3. 白光干涉仪测量精度范围

特点就是中间白色,彩色条纹。

光干涉必须要求相干光 不知道具体什么干涉,用双峰干涉产生白光干涉比较简单,迈克尔逊干涉就难了,必须严格调平行

4. 白光干涉仪图片

白光是各种颜色的光的叠加,当一种光处于加强状态的叠加时,显现的最强,对于中心来说所有的光都是最强的,所以看其来是白光,对于旁边的地方,有的色光已经处于减弱状态,故主要显现加强状态的光,所以就是彩色的,而且最外边的光是红光,最靠近里面的光是紫光,也是因为这个原因,红光波长最长,在最外边发生干涉加强,紫光波长最短,在最接近中心时最先发生干涉加强。

5. 白光干涉仪和激光干涉仪

只要是两个频率相同、相位差恒定的光就称之为相干光,其光源就叫相干光光源。 

因为激光器产生的激光是频率相同,相位相同的光,它当然与其它是激光频率相同、相位差恒定。这就它的相干性。激光是受激辐射光,它的波长分布范围很窄,颜色很纯,其振动、频率、相位都高度一致,而白光是复合光,其频率、振动、相位都不一致,发生干涉时,激光形成的干涉图样更稳定,所以激光的相干性比白光的好。

6. 白光干涉仪的检测范围

答,激光共聚焦显微镜好些,分辨率高,但是扫描速度相对较慢;白光干涉仪相对分辨率较低。不过现在好多共聚焦显微镜可以同时具备这两种功能,比如日Lasertec的的Hybrid,莱卡也有类似的功能----午禾科技。

7. 白光干涉仪测量粗糙度

表面粗糙度测量法是对工件表面微观几何形状的测量方法。常用的有:

①比较判别法。

以视觉(或触觉)将被测零件表面与表面粗糙度样块相比较,鉴别出被测表面粗糙度相当于哪一等级。

②光切法。

光线经一定的光路,形成狭窄的片状光束,以一定的角度(如45°)射到被测表面上,与被测表面相交呈一轮廓曲线,以光切显微镜量得该曲线的有关参数,代表该表面粗糙度水平。

③干涉法。

根据光波干涉原理,以干涉显微镜将反映表面粗糙度的干涉条纹的有关参数测量出来

8. 白光干涉测量技术

等厚干涉条纹是一系列平行线,原理同劈尖。

白光干涉条纹是彩色的,只在零光程差附近极小的范围。