1. 反射复合型滤光片
一、TFT-LCD的制造工艺流程有以下几部分
①、在TFT基板上形成 TFT 阵列;
②、在彩色滤光片基板上形成彩色滤光图案及 ITO 导电层;
③、用两块基板形成液晶盒;
④、安装外围电路、组装背光源等的模块组装。
二、在 TFT基板上形成TFT阵列的工艺
现已实现产业化的 TFT 类型包括:非晶硅 TFT ( a-Si TFT )、多晶硅 TFT ( p-Si TFT )、单晶硅 TFT(c-Si TFT) 几种。目前使用的仍是 a-Si TFT 。
a-Si TFT的制造工艺如下:
①、先在硼硅玻璃基板上溅射栅极材料膜,经掩膜曝光、显影、干法蚀刻后形成栅极布线图案。一般掩膜曝光用步进曝光机。
②、用 PECVD 法进行连续成膜,形成 SiNx 膜、非掺杂 a-Si 膜,掺磷 n+a-Si 膜。然后再进行掩膜曝光及干法蚀刻形成 TFT 部分的 a-Si 图案。
③、用溅射成膜法形成透明电极( ITO 膜),再经掩膜曝光及湿法蚀刻形成显示电极图案。
④、栅极端部绝缘膜的接触孔图案形成则是使用掩膜曝光及干法蚀刻法。
⑤、将 AL 等进行溅射成膜,用掩膜曝光、蚀刻形成 TFT 的源极、漏极以及信号线图案。用 PECVD 法形成保护绝缘膜,再用掩膜曝光及干法蚀刻进行绝缘膜的蚀刻成形, ( 该保护膜用于对栅极以及信号线电极端部和显示电极的保护 ) 。
TFT阵列工艺是 TFT-LCD制造工艺的关键 , 也是设备投资很多的部分,整个工艺要求在很高的净化条件(例如 10 级)下进行。
三、 在彩色滤光片( CF )基板上形成彩色滤光图案的工艺
彩色滤光片着色部分的形成方法有染料法、颜料分散法、印刷法、电解沉积法、喷墨法。目前以颜料分散法为主。
颜料分散法的是将颗粒均匀的微细颜料(平均粒径小于 0.1 μ m ) (R 、 G 、 B 三色 ) 分散在透明感光树脂中。然后将它们依次用涂敷、曝光、显影工艺方法,依次形成 R. G. B 三色图案。在制造中使用光蚀刻技术,所用装置主要是涂敷、曝光、显影装置。
为了防止漏光,在 RGB 三色交界处一般都要加黑矩阵( BM )。以往多用溅射法形成单层金属铬膜,现在也有改用金属铬和氧化铬复合型的 BM 膜或树脂混合碳的树脂型 BM 。
此外,还需要在 BM 上制作一层保护膜及形成 IT0 电极 , 由于带有彩色滤光片的基板是作为液晶屏的前基板与带有 TFT 的后基板一起构成液晶盒。所以必须关注好定位问题,使彩色滤光片的各单元与 TFT 基板各像素相对应。
2. 全反射滤光片
分光片将部分入射光能量反射,吸收相对较小的一部分量,将其余的能量透射。 分光片有着明显的中性颜色特性。分光镜是以多层介电膜真空蒸镀而成, 没有金属膜会吸收的问题, 穿透与反射比例总和接近100.功能: 以真空蒸镀方式制作,光线通过滤光片后,可改变穿透比例,例如:可一半穿透、一半反射,拥有低吸收的特性。
3. 吸收反射复合型滤光片
归一化差异红色边缘指数(NDRE)是一种度量,可用于分析从多光谱图像传感器获得的图像中的植被健康与否。它类似于归一化差异植被指数(NDVI),但使用近红外和红色边缘的比例。
NDRE使用红色边缘滤光片来查看作物华盖的反射率。红色边缘是植被反射光谱红光到近红外NIR过渡带中的一个区域,标志着红色可见区域叶绿素吸收与NIR区叶片内部结构散射的界限。这个东西可以让您通过确定作物的很多不同变量对其进行管理。我们只要了解叶绿素的水平,就可以拥有监测光合作用活动的能力。
4. 双折射滤光片
二向色镜的原理是在其内放置一无色方解石(冰洲石),以将光线分解成两垂直振荡的光,而透过二向色镜分别观察这两光线的颜色。 二向色镜右下角的那一端是要靠接观测物的,另一端靠接在眼睛;接物端有放大镜,可较清楚地观察观测物。 二向色镜是最常用来验证双折射的仪器。 就如同其名,二向色镜是用来检验宝石有无二向色性的仪器.由于只有双折射宝石具有二向色性,因此若能检验出二向色性,则可证明所检测者,是双折射宝石.反之不一定成立,检测不出二向色性的样本,有两种情况,可能其为单折射宝石,或者其虽为双折射宝石,但其二向色性过弱。 当正常白光透过双折射宝石时,会被分解成两束彼此垂直振荡的光线,由于二向色性的原理,这两束光线的颜色可能不同,但混合起来一起进入人眼,就是宝石的颜色,人的眼睛可没有办法将这两光束区分开来,因而要借助二向色镜;二向色镜内的方解石是自然界中,双折射效应最大的矿物,其会将射出宝石的两束光线,再次分离开,再借着二向色镜内的光学反射导引,将这两束光线分别投射到两块不同区域,而使用者只要借着观察到这两块区域的颜色是否不同,便能确认宝石是否具有二向色性,也就能推论宝石是否具有双折射了。简单的归纳起来,透过二向色镜观察宝石,会看到两个小窗口,分别代表宝石上同一块区域,但不同振荡方向的光线颜色,若这两个窗口的颜色不同,则可知宝石具有二向色性。 但有些时候,即使观察单折射宝石,由于光线反光,散射或其它原因,会让使用者觉得两窗口的颜色略有不同,这样子的情况会使得单折射宝石与弱二向色性的双折射宝石间差异不大,很难区分开,这也是仪器本身的限制,是没法子的事;因此,若观察到两窗口的颜色强烈不同,才能确认宝石具有二向色性,若颜色差异极微小,不须强认定其具二向色性,再利用其它方法确认宝石的双折射就是。 一般常见双折射宝石的二向色性大多很明显,以具强烈二向色性著称的堇青石(Iolite),榍石(Sphene),硅线石(Sillimanite)等等在二向色镜下观察时,其颜色差异更加强烈,不过,所谓的颜色差异通常仅是无色与深色的分别就是.丹泉石(Tanzanite)从不同方向用二向色镜观察时,其颜色会出现三种变化,因而被称为具三向色性,当然,同时只能观察到两种不同颜色。 利用二向色镜,可将强二向色性的宝石与单折射宝石,如钻石,尖晶石,石榴子石,玻璃等分别开来.但二向色镜的原理是检验透射光,若宝石本身是不透明的,其颜色是反射光造成的,可不能用二向色镜检测。
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5. 折射滤光片
天然水晶清澈透明,常含有云雾状、星点状或絮状气液包体,并往往有微裂纹。此外,天然水晶有偏光性,可见双晶现象,例如水晶球体,从上向下看,会见有双影现象。人工合成水晶或玻璃制品,体内均一纯净,毫无裂纹,内部往往有小气泡。球体由上往下看,见不到下面线条的双影。用手感识别,可感到合成水晶的比重大于天然水晶;天然水晶有冰凉之感,而玻璃有温感。 不同材质制成的假水晶的不同辨别法 1.压克力、塑胶制品,可以从手握的触感、温度、硬度上来分辨,此外,压克力、塑胶容易造成光线扭曲折射,一般并不难分辨,所以此种仿冒品也渐渐稀少。 2.玻璃制品,这种一见到就是清澈如水,没有质感,且硬度低(5),单折射率,夹杂有气泡,也很好分辨。 3.熔炼水晶,就是指国产的水晶渣合成的水晶,如同玻璃一般,但多已制成七、八公分至十来公分大小的圆球,非常美观好看,但是单折射率,硬度低(5),可以用偏光镜来分辨。 4.水晶玻璃,其实就是“铅玻璃”,熔有铅金属的钵璃制品,市面上最多,因为折射率、色散率都好,显得光彩夺目、耀眼动人,最适合摆设、装饰,但不适合用于灵性用途。一般多可用目视判别。 5.人造水晶,也称“养晶”,原石没有六方晶系结晶,这是最容易判断的地方;但若是磨成成品以后,就不好以上述的方法判别,一定要借助“紫外线光谱仪”才能分辨真假。市面上最多的是无色透明的白水晶、紫水晶、黄水晶、以及水蓝色的水晶仿冒品。
6. 窄带滤光片反射
主要参数
中心波长(Center wavelength):带通滤光片的中心称为中心波长(CWL)。通带宽度用最大透过率一半处的宽度表示(FWHM),通常称为半宽。
入射角度(Incident angle):入射光线和滤光片表面法线之间的夹角。当光线正入射时,入射角为0°。
截止深度(Blocking):根据滤光片分类而定,以窄带滤光片为例:截止深度:>OD4-OD6 UV-NIR。
光谱特性(Spectral characteristics):滤光片光谱参数(透过率T,反射率R,光密度OD,位相,偏振状态s,p等相对于波长变化的特性)。