白光干涉测量仪(白光干涉仪测量粗糙度)

海潮机械 2023-01-05 17:18 编辑:admin 264阅读

1. 白光干涉仪测量粗糙度

1、比较法 比较法测量简便,使用于车间现场测量,常用于中等或较粗糙表面的测量。方法是将被测量表面与标有一定数值的粗糙度样板比较来确定被测表面粗糙度数值的方法。比较时可以采用的方法:Ra>1.6μm时用目测,Ra1.6~Ra0.4μm时用放大镜,Ra<0.4μm时用比较显微镜。 比较时要求样板的加工方法,加工纹理,加工方向,材料与被测零件表面相同。

2、触针法 利用针尖曲率半径为2微米左右的金刚石触针沿被测表面缓慢滑行,金刚石触针的上下位移量由电学式长度传感器转换为电信号,经放大、滤波、计算后由显示仪表指示出表面粗糙度数值,也可用记录器记录被测截面轮廓曲线。一般将仅能显示表面粗糙度数值的测量工具称为表面粗糙度测量仪,同时能记录表面轮廓曲线的称为表面粗糙度轮廓仪。这两种测量工具都有电子计算电路或电子计算机,它能自动计算出轮廓算术平均偏差Ra,微观不平度十点高度Rz,轮廓最大高度Ry和其他多种评定参数,测量效率高,适用于测量Ra为0.025~6.3微米的表面粗糙度。

3、光切法 双管显微镜测量表面粗糙度,可用作Ry与Rz参数评定,测量范围0.5~50。

4、干涉法 利用光波干涉原理(见平晶、激光测长技术)将被测表面的形状误差以干涉条纹图形显示出来,并利用放大倍数高(可达500倍)的显微镜将这些干涉条纹的微观部分放大后进行测量,以得出被测表面粗糙度。应用此法的表面粗糙度测量工具称为干涉显微镜。这种方法适用于测量Rz和Ry为0.025~0.8微米的表面粗糙度。 表面粗糙度(surfaceroughness)是指加工表面具有的较小间距和微小峰谷的不平度。其两波峰或两波谷之间的距离(波距)很小(在1mm以下),它属于微观几何形状误差。表面粗糙度越小,则表面越光滑。表面粗糙度一般是由所采用的加工方法和其他因素所形成的,例如加工过程中刀具与零件表面间的摩擦、切屑分离时表面层金属的塑性变形以及工艺系统中的高频振动等。由于加工方法和工件材料的不同,被加工表面留下痕迹的深浅、疏密、形状和纹理都有差别。

2. 白光干涉仪测量粗糙度方法

粗糙度检测方法有:标准样块比较法,不同粗糙度样块组成一组。检测时按图纸要求选取样块与被检测零件表面进行比较,以确定合格。

还有光线干涉法,用高精度平晶与被检测平面紧密贴合,观察有无干涉条纹,条纹分布均匀程度。

3. 白光干涉测量实验

干涉中离白光近的是什么颜色?

当然是紫色

根据X=λL/S (L为缝到屏的距离,S为两缝之间的距离)应该是白光干涉,中间白色,紫色靠近中央

从双缝干涉亮条纹分布公式来看,k=0不同波长亮条纹位置相同,所以中心是白色亮条纹。不同波长光的k=1\2\3...亮条纹中心位置不同(但是基本还在同一区域),所以两侧的条纹是各色光的叠加。以中心向外第一个亮条纹为例,k=1,xd/D=kλ,λ波长越大,条纹中心位置x也就越大,就是越靠外。所以在第一条纹里,靠内的是紫光蓝光,靠外的是红黄光

4. 白光干涉仪测量粗糙度的原理

表面粗糙度测量方法:

1、比较法比较法测量简便,使用于车间现场测量,常用于中等或较粗糙表面的测量。方法是将被测量表面与标有一定数值的粗糙度样板比较来确定被测表面粗糙度数值的方法。比较时可以采用的方法:Ra>1.6μm时用目测,Ra1.6~Ra0.4μm时用放大镜,Ra比较时要求样板的加工方法,加工纹理,加工方向,材料与被测零件表面相同。

2、触针法利用针尖曲率半径为2微米左右的金刚石触针沿被测表面缓慢滑行,金刚石触针的上下位移量由电学式长度传感器转换为电信号,经放大、滤波、计算后由显示仪表指示出表面粗糙度数值,也可用记录器记录被测截面轮廓曲线。一般将仅能显示表面粗糙度数值的测量工具称为表面粗糙度测量仪,同时能记录表面轮廓曲线的称为表面粗糙度轮廓仪。这两种测量工具都有电子计算电路或电子计算机,它能自动计算出轮廓算术平均偏差Ra,微观不平度十点高度Rz,轮廓最大高度Ry和其他多种评定参数,测量效率高,适用于测量Ra为0.025~6.3微米的表面粗糙度。

3、光切法双管显微镜测量表面粗糙度,可用作Ry与Rz参数评定,测量范围0.5~50。

4、干涉法利用光波干涉原理(见平晶、激光测长技术)将被测表面的形状误差以干涉条纹图形显示出来,并利用放大倍数高(可达500倍)的显微镜将这些干涉条纹的微观部分放大后进行测量,以得出被测表面粗糙度。应用此法的表面粗糙度测量工具称为干涉显微镜。这种方法适用于测量Rz和Ry为0.025~0.8微米的表面粗糙度。表面粗糙度(surfaceroughness)是指加工表面具有的较小间距和微小峰谷的不平度。其两波峰或两波谷之间的距离(波距)很小(在1mm以下),它属于微观几何形状误差。表面粗糙度越小,则表面越光滑。表面粗糙度一般是由所采用的加工方法和其他因素所形成的,例如加工过程中刀具与零件表面间的摩擦、切屑分离时表面层金属的塑性变形以及工艺系统中的高频振动等。由于加工方法和工件材料的不同,被加工表面留下痕迹的深浅、疏密、形状和纹理都有差别。

5. 白光干涉仪测量精度

白光干涉仪是用于对各种精密器件表面进行纳米级测量的仪器,它是以白光干涉技术为原理,光源发出的光经过扩束准直后经分光棱镜后分成两束,一束经被测表面反射回来,另外一束光经参考镜反射,两束反射光最终汇聚并发生干涉,显微镜将被测表面的形貌特征转化为干涉条纹信号,通过测量干涉条纹的变化来测量表面三维形貌。

6. 白光干涉仪测量范围

深圳市中图仪器股份有限公司是国家级高新技术企业,致力于精密测量、计量检测等仪器设备的研发与生产,设计制造了白光干涉仪、激光干涉仪、激光跟踪仪、高精度测长机、轮廓测量仪、螺纹综合测量机、指示表自动检定仪等。