半导体制程烘箱(半导体制程设备)

海潮机械 2023-01-16 20:05 编辑:admin 81阅读

1. 半导体制程设备

1.硅片:12 英寸硅片国产发展空间大,8 英寸硅片将受益于终端市场需求上行

2. 光刻胶:国内产品崭露头角,国产替代任重道远

3. CMP 材料:随先进制程产能增长,需求持续增高,国内安集科技、鼎龙股份实现技术突破

4. 光掩膜:随半导体制程提高,掩膜市场迅速扩大,光掩膜加快国产替代步伐

5. 溅射靶材:国产化水平较高,下游市场扩张将推动行业进一步发展

6. 电子特气:半导体制造基础材料,国产进程持续推进

7. 湿化学品:细分种类众多,部分实现国产化,未来前景广阔

8. 石英:基础原料承载经济腾飞。

2. 半导体制程设备技术

一、氧化/扩散炉(高温炉)

芯片的制造流程中,硅片表面通过氧化的方式生长一层氧化层,通过在氧化层上刻印图形和刻蚀,达到对硅衬底进行扩散掺杂,激活硅片的半导体属性,从而形成有效的PN结。

二、光刻设备

光刻的本质是把电路结构图复制到硅片上的光刻胶上,方便之后进行刻蚀和离子注入。从集成电路诞生之初,光刻就被认为是集成电路制造工艺发展的驱动力。

三、涂胶显影设备

涂胶显影设备是光刻工序中与光刻机配套使用的涂胶、烘烤及显影设备,包括涂胶机、喷胶机和显影机。该设备不仅直接影响光刻工序细微曝光图案的形成,对后续蚀刻和离子注入等工艺中图形转移的结果也有着深刻的影响。

四、刻蚀设备

刻蚀指将硅片上未被光刻胶掩蔽的部分通过选择性去掉,从而将预先定义的图形转移到硅片的材料层上的步骤。

五、离子注入设备

一般而言,本征硅(即原始不含杂质的硅单晶)导电性能很差,只有当硅中加入少量杂质,使其结构和电导率发生改变时,硅才成为真正有用的半导体。

六、薄膜沉积设备

1、PVD设备

2、CVD设备

七、CMP设备

CMP(化学机械抛光)工艺指抛光机的抛光头夹持住硅片相对抛光垫做高速运动,抛光液在硅片和抛光点之间连续流动,抛光液中的氧化剂不断接触裸露的硅片表面,产生氧化膜,然后借助抛光液中的微粒机械研磨作用去除氧化膜。

八、检测设备

1、质量测量设备

2、电学检测设备

九、清洗设备

3. 半导体制程设备能源、动力与物料使用效率规范

答:半导体金属化工艺用薄膜沉积设备。

半导体设备是半导体生产流程的基础,半导体设备先进程度直接决定了半导体生产的质量和效率。 其中薄膜沉积设备制造技术难度大,门槛极高,是半导体制造工艺中的三大核心设备之一(另外 两者为光刻设备和刻蚀设备)。

薄膜沉积设备作为晶圆制造的核心设备之一,在晶圆制造环节设备投资占比仅次于光刻机,约占 25%。根据 SEMI 和 Maximize Market Research 的统计,2020年全球半导体设备市场规模达到 712 亿美元,其中薄膜沉积设备市场规模约 172 亿美元。

根据工作原理的不同,集成电路薄膜沉积可分为物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)和其他。 薄膜沉积工艺不断发展,根据不同的应用演化出了 PECVD、溅射 PVD、ALD、LPCVD 等不同的 设备用于晶圆制造的不同工艺。

4. 半导体制程设备工程师

半导体设备现场服务工程师还可以

前景很好

前景很好。 半导体工程师是制造业的挤出人才,在各个产业、行业都有广泛的人才需求,因此,作为一名合格的半导体工程师,可以去很多企业展现自己的能力。 不论是一些简单的芯片制造厂商,还是一些高端的超大规模集成电路

5. 半导体制程设备安全准则

防静电工业标准有很多,分国内、国外标准;旧版、新版标准;国家、行业标准等,随着防静电产业的飞速发展,很多标准得以建立或修订完善,以规范我们的生产作业、指导我们的工作。

一、标准:(部分)

☆电子产品防静电放电控制手册 GJB/Z105-98

☆电子工业用合成纤维防静电绸性能及试验方法 SJ/T11090-1996

☆防静电鞋、导电鞋技术要求 GB4385—1995

☆ 电子产品制造防静电系统测试方法 SJ/T 10694-96

☆ 电子元器件防静电要求 QJ 1693-89

☆防静电操作系统技术要求 QJ 1950-90

☆ 防静电安全工作台技术要求 QJ 2177-91

☆ 静电测试方法 QJ 1875-90

☆ 防静电操作系统通用规范 QJ 2846-96

☆ 电子元器件制造防静电技术要求 SJ/T 10630-95

☆ 电子设备制造防静电技术要求 SJ/T 10533-94

☆ 《静电敏感器件使用规则》宣贯材料 Q/W 293-92-2

☆ 电子计算机机房施工及验收规范 SJ/T 30003-93

☆ 通讯设备静电防护通则 YD/T 754-1995

☆ 静电敏感器件使用规则 Q/W 293-92

☆ 电子仪器和设备静电要求 QJ 2245-92

☆ 半导体器件使用规则 QJ 2225-92

☆ 集成电路防静电包装管 SJ/T 10147-91

☆ 通信机房静电防护通则 YD/T 754-95

☆ 信息技术设备静电放电敏感度试验 SJ 20154-92

☆ 电火工品生产防静电安全规程 WJ 1912-90

☆ 防静电周转容器通用规范 SJ/T11277-2002

☆ 防静电活动地板通用规范 SJ/T 10796-2001

☆ 防静电贴面板通用规范 SJ/T 11236-2001

☆ 地板覆盖层和装配地板静电性能的试验方法 SJ/T 11159-98

二、最新培训认证参考标准:[1]

1、 国际标准 IEC 61340-5-1:2007

2、美国标准 ANSI/ESD S20.20-2007

3、中国标准 GJB3007-2009

4、行业标准 SJ/T10694-2006 (中国行业标准 FLOMC ESD 标准)

就认证标准而言,目前欧美流行的ESD体系有IEC、EIA、ESDA以及IPC四大类,其中IPC的ESD标准实际上是ESDA和EIA标准的引用,所以严格意义上流行的体系是三类。

6. 半导体制程设备技术 五南出版社

陈国明,教授为美国肯特州立大学(Kent State University)传播学博士。主修跨文化交际与组织传播学,以及传播研究方法。为美国1987年国际与跨文化交际学杰出博士论文奖得主,目前任教于美国罗得岛大学(Universitv of RhodeIsland)传播学系。

除了担任不同专业期刊编辑与编委之外,也是中华传播研究学会(Association for Chinese Communication Studies)创会会长。目前为国际跨文化交际研究学会(International Association for Intercultural CommunicationStudies)执行长。

著作颇丰,除了一百余篇论文,已出版了《简明英汉传播学辞典》(2002,五南出版社)、《文化问传播学》(2003,五南出版社)、《中华传播理论与原则》(2004,五南出版社)、《传播学概论》(2005,巨流出版社)、《媒介素养》(2005,五南出版社)、《传播研究方法》。