cmp抛光机规格(CMP抛光材料)

海潮机械 2023-02-04 05:19 编辑:admin 202阅读

1. CMP抛光材料

芯片制造材料:衬底(硅片、砷化镓(GaAs)、氮化镓(GaN)和碳化硅(SiC)等)、光罩(光掩模板)、光刻胶、电子气体、溅射靶材、湿电子化学品、化学机械抛光(CMP)材料(抛光液、抛光垫)等;

芯片封装材料:引线框架、封装基板、电镀液、键合丝、塑封材料、聚酰亚胺、锡球等;

通用材料:刻蚀液、清洗液等。

2. cmp抛光材料生产工艺

需要抛光

淬火后的金属工件,如果表面要抛光,可以采用平面研磨抛光机,把一个不锈钢材质的工件抛光成镜面, 因为产品的外观不同,所以不锈钢镜面抛光就分了很多种类。不锈钢表面抛光工艺方法很多,常用的有机械抛 光、化学抛光、电解抛光。但是这些方法得到的镜面效果都不高,现在莞研精密跟大家分享一 种叫 CMP 机械化学抛光方法。这种方法仅仅适用于不锈钢材质工件需要做纯平面、小尺寸、 高精度的镜面抛光,也简称不锈钢镜面抛光。 不锈钢镜面抛光材料 不锈钢镜面抛光材料需要用到的材料:不锈钢抛光机、合成铁盘、抛光垫、研磨液、夹 具或治具;相关耗材包括粘贴蜡、胶纸、超声波清洗剂等。如果是批量生产的话,需要的材料就更多,工序也会分得很细。

3. cmp抛光材料概念股

CMP,即Chemical Mechanical Polishing,化学机械抛光。CMP技术所采用的设备及消耗品包括:抛光机、抛光浆料、抛光垫、后CMP清洗设备、抛光终点检测及工艺控制设备、废物处理和检测设备等。CMP技术的概念是1965年由Monsanto首次提出。该技术最初是用于获取高质量的玻璃表面,如军用望远镜等。1988年IBM开始将CMP技术运用于4MDRAM 的制造中,而自从1991年IBM将CMP成功应用到64MDRAM 的生产中以后,CMP技术在世界各地迅速发展起来。区别于传统的纯机械或纯化学的抛光方法,CMP通过化学的和机械的综合作用,从而避免了由单纯机械抛光造成的表面损伤和由单纯化学抛光易造成的抛光速度慢、表面平整度和抛光一致性差等缺点。它利用了磨损中的“软磨硬”原理,即用较软的材料来进行抛光以实现高质量的表面抛光。 CMP抛光液是以高纯硅粉为原料,经特殊工艺生产的一种高纯度低金属离子型抛光产品,广泛用于多种材料纳米级的高平坦化抛光。

4. cmp抛光材料是干什么的

1)电子材料(也称电子化学品),具有“品类多、壁垒高、专用性”等特点,主要包括半导体(集成电路、分立器件、LED、传感器)、显示器件(LCD、OLED)、印刷电路板(PCB)、太阳能电池等电子元器件、零部件与整机生产的各种化工材料。

2)半导体产品按种类不同,主要分为集成电路(Integrated Circuit,简称IC)、光电子、分立器件和传感器四部分。根据WSTS统计,2016年集成电路销售占比82%,光电子占比9%,分立器件占比6%,传感器占比3%。由于多年来集成电路销售占半导体销售比重均达80%以上,因此市场上一般将IC代指为半导体。

3)集成电路按照不同功能用途区分,主要包括四大类:微处理器(约18%)、存储器(约23%)、逻辑芯片(约27%)、模拟芯片(约14%)。

4)目前全球IC产业有两种商业模式:IDM(Integrated Device Manufacturer,集成器件制造)模式和垂直分工模式。

IDM是指从设计、制造、封装测试到销售自有IC产品,均由一家公司完成的商业模式;

垂直分工是指IC的设计、制造和封装测试分别由专业的IC设计商(Fabless)、IC制造商(Foundry)、IC封装测试商(Package&Testing)承担的商业模式;

目前来看,IDM模式在全球仍占主要地位。2016年全球TOP20厂商营收共计占全球半导体销售额约80%,其中,20强中IDM厂商营收规模占比约为68%,Fabless占比为18%,Foundry占比为14%。

半导体行业相关资料

1)半导体产业属于重资产投入,具有技术含量高、设备价值高等特点,因此下游产业的发展衍生出了巨大的设备投资市场。从生产工艺来看,半导体制造过程可以分为IC设计、制造和封装与测试环节。设备主要针对制造及测封环节,设计部分的占比较少。

2)历史上半导体行业经历了两次产业转移,由美国到日本再到韩国,而2016年底中国晶圆产能占比11%,是全球增长最快的地区。随着半导体制造技术和成本的变化,半导体产业正在经历第三次产能转移,行业需求中心和产能中心逐步向国内转移。

3)根据市场研究机构IC Insights数据,2016年,全球半导体市场规模约3600亿美元。最新的前20排名中,美国有8家半导体厂入榜,日本、欧洲与中国台湾地区各有3家,韩国有两家挤进榜单,新加坡有一家上榜。中国大陆仍没有一家企业上榜。

4)半导体产业被认为处于整个电子信息产业链的顶端,近年来半导体产业正在向中国转移,人才与配套设施也积极趋向于中国。随着云计算、大数据、物联网、人工智能等新兴应用的兴起,市场驱动要素正在发生转折,而中国拥有全球最大、增速最快的半导体市场。

5)广发证券研报称,半导体属于高度资本密集和高度技术密集型产业,是世界大国的必争之地。中国作为全球半导体最大的消费市场,无论是从地域配套优势还是国家意志层面,中国半导体产业的崛起势在必行,半导体整个产业链都有望持续受益。

6)从资本开支角度讲,半导体是一个高技术壁垒和高资金门槛的行业,需要不断的研发投入和资本投入。数据方面看,半导体企业的资本开支从2016年三季度开始走高。2017年全球半导体企业的资本开支超过1000亿美金,像英特尔、三星、台积电这些巨头,每年的资本开支都在100亿美金之上。

半导体产业链情况

1)从产业链上来看,半导体上游主要包括设备和材料两个部分,中游IC生产包括“设计-制造-封装-测试”几个环节,下游应用主要集中在计算机、消费类电子、网络通信、汽车电子等领域。

2)半导体产业链上游称为支撑产业链,主要包括材料和装备。其中,半导体材料主要包括大硅片、电子气体、湿电子化学品、靶材、光刻胶以及CMP材料等,半导体设备则有光刻机、刻蚀机、成膜设备以及测试设备等。无论是材料还是设备,由于生产技术工艺复杂,目前国产率均处于极低的水平。

3)半导体材料方面:由于目前我国集成电路产业中封装领域已占据一定的市场份额,随着产业链转移的深入,下一个有望崛起的是国内的晶圆制造产业,这意味着制造环节的材料将有更大的替代弹性。在众多半导体材料中,率先实现技术突破打入核心供应商的是溅射靶材,而江丰电子是国内溅射靶材的龙头。在CMP抛光材料领域,行业龙头鼎龙股份也实现了技术突破,成为国内首家磨制平面能做到高精度纳米级的企业。其他处于半导体材料产业链的上市公司还包括:湿化学品相关的江化微、大硅片相关的上海新阳、特种电子气体相关的雅克科技等。

5. cmp抛光材料的上市公司

CMP抛光垫的性质直接影响晶圆表面抛光质量,是CMP工艺的核心材料。

6. cmp抛光是什么意思

CMP,即Chemical Mechanical Polishing,化学机械抛光。CMP技术所采用的设备及消耗品包括:抛光机、抛光浆料、抛光垫、后CMP清洗设备、抛光终点检测及工艺控制设备、废物处理和检测设备等。

7. cmp抛光材料对身体的危害

CMP就是化学机械抛光的英文缩写。CMP技术是目前唯一可以实现晶圆片全局平坦化的技术。也就是每个晶圆的生产,都需要对晶圆片进行多次CMP抛光才得以实现。在晶圆制造中,对 CMP材料的需求占比约7%。半导体需求的增加将拉动晶圆制造产量,将进一步拉动CMP材料的需求。

8. cmp抛光材料是什么

一种用于化学机械抛光(以下简称为“CMP”)制程的浆料。特别是涉及一种用于浅槽隔离(STI,shallow trench isolatein)CMP制程的抛光浆料,该抛光浆料为制造256M(mega)或更高的D-RAM超高集成半导体(设计标准小于或等于0.13μm)所必需,其能够以很高的移除速率对晶圆进行抛光,与氮化物比较而言,该抛光浆料具有优异的氧化物移除选择性。此外,本发明还涉及磨料颗粒,以及该磨料颗粒和抛光浆料的制造方法。