1. CMP抛光机
CMP，即Chemical Mechanical Polishing，化学机械抛光。CMP技术所采用的设备及消耗品包括：抛光机、抛光浆料、抛光垫、后CMP清洗设备、抛光终点检测及工艺控制设备、废物处理和检测设备等。CMP技术的概念是1965年由Monsanto首次提出。该技术最初是用于获取高质量的玻璃表面，如军用望远镜等。1988年IBM开始将CMP技术运用于4MDRAM 的制造中，而自从1991年IBM将CMP成功应用到64MDRAM 的生产中以后，CMP技术在世界各地迅速发展起来。区别于传统的纯机械或纯化学的抛光方法，CMP通过化学的和机械的综合作用，从而避免了由单纯机械抛光造成的表面损伤和由单纯化学抛光易造成的抛光速度慢、表面平整度和抛光一致性差等缺点。它利用了磨损中的“软磨硬”原理，即用较软的材料来进行抛光以实现高质量的表面抛光。 CMP抛光液是以高纯硅粉为原料，经特殊工艺生产的一种高纯度低金属离子型抛光产品，广泛用于多种材料纳米级的高平坦化抛光。
2. CMP抛光机压力环
CMP,即Chemical Mechanical Polishing,化学机械抛光。CMP技术所采用的设备及消耗品包括:抛光机、抛光浆料、抛光垫、后CMP清洗设备、抛光终点检测及工艺控制设备、废物处理和检测设备等。
3. CMP 抛光
CMP，即Chemical Mechanical Polishing，化学机械抛光。CMP技术所采用的设备及消耗品包括：抛光机、抛光浆料、抛光垫、后CMP清洗设备、抛光终点检测及工艺控制设备、废物处理和检测设备等。CMP技术的概念是1965年由Monsanto首次提出。该技术最初是用于获取高质量的玻璃表面，如军用望远镜等。1988年IBM开始将CMP技术运用于4MDRAM 的制造中，而自从1991年IBM将CMP成功应用到64MDRAM 的生产中以后，CMP技术在世界各地迅速发展起来。区别于传统的纯机械或纯化学的抛光方法，CMP通过化学的和机械的综合作用，从而避免了由单纯机械抛光造成的表面损伤和由单纯化学抛光易造成的抛光速度慢、表面平整度和抛光一致性差等缺点。它利用了磨损中的“软磨硬”原理，即用较软的材料来进行抛光以实现高质量的表面抛光。 CMP抛光液是以高纯硅粉为原料，经特殊工艺生产的一种高纯度低金属离子型抛光产品，广泛用于多种材料纳米级的高平坦化抛光。
4. CMP抛光材料
CMP的核心耗材是抛光垫，全球市场被海外龙头垄断。CMP材料价值量约占芯片制造成本的7%，其中抛光垫价值量约占CMP耗材的33%。
5. cmp化学机械抛光设备
1.EDA软件（电子设计自动化） 国产龙头：华大九天（301269）
2.存储芯片 国产龙头：兆易创新（603986）、北京君正（300233）
3.CPU-中央处理器 国产龙头：龙芯中科（688047）
4.GPU-图形处理器 国产龙头：景嘉微（300474） GPU被国外三巨头垄断，分别是英特尔（63%）、英伟达（18%）、AMD（19%）
5.MCU-微控制器 国产龙头：兆易创新（603986）
6.FPGA-半定制电路芯片 国产龙头：紫光国微（002049）、复旦微电（688385）7.DSP-数字信号处理器国产龙头：国睿科技（600562）、四创电子（600990）
8.触控与指纹识别芯片 国产龙头：汇顶科技（603160）
9.射频前端芯片 国产龙头：卓胜微（300782）
10.模拟芯片 国产龙头：圣邦股份（300661） 11.LED 国产龙头：三安光电（600703） 12.miniLED 国产龙头：京东方A（000725）、TCL科技（000100）
13.IGBT 国产龙头：斯达半导（603290） 14.MOSFET 国产龙头：华润微（688396） 15.功率二极管 国产龙头：扬杰科技（300373）
16.晶闸管 国产龙头：捷捷微电（300623） 17.晶振 国产龙头：泰晶科技（603738） 18.MLCC-片式多层陶瓷电容 国产龙头：风华高科（000636）
19.MEMS-传感器 国产龙头：敏芯股份（688286）
20.代工制造 国产龙头：中芯国际（688981）
21.封装测试 国产龙头：长电科技（600584）
22.硅片 国产龙头：沪硅产业（688126）、立昂微（605358）
23.光刻胶 国产龙头：南大光电（300346） 24.电子特气 国产龙头：华特气体（688268）
25.湿电子化学品 国产龙头：江化微（603078）
26.靶材 国产龙头：有研新材（600206）、江丰电子（300666）
27.CMP抛光材料 国产龙头：安集科技（688019）（抛光液）、鼎龙股份（300054）（抛光垫）
28.氮化镓GaN 国产龙头：英诺赛科（未上市）
29.碳化硅SiC 国产龙头：露笑科技（002617）
30.光刻机 国产龙头：上海微电子（未上市）