1. 爱德华干式真空泵故障大全
1、首先可以尝试点击报警界面上的复位键按钮来取消报警。如果不能取消，请直接参考第3条处理方案。
2、点击复位按钮取消报警后，我们需要查看等离子表面处理系统上的参数是否有归零，如能归零，我们在重新进行设置后，在手动模式下进行运行测试，观察是否恢复正常。
3、如系统参数无变化，再确认热继电器是否有自动保护，此时再按复位键，然后再开启真空发生系统。如没有自动保护，就需检查电气线路。
2. 爱德华真空泵保养
爱德华真空泵450真空泵连接管的卧式泵的进气口在上，排气口在下。有时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方向是相互垂直的。此时，排气口可以从左或右两个方向开口，除接排气管道一端外，另一端堵死或接旁通阀。这种泵结构重心低，高速运转时稳定性好。一般大、中型泵多采用此种结构。
泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构装配间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。但泵重心较高且齿轮拆装不便，润滑机构也相对复杂。
3. 爱德华真空泵结构图
真空泵维修，问题1、真空泵不能启动：主要表现为真空泵加电后不能启动运转。这时应首先检查真空泵的电路部分，如保险管是否烧毁、电路部分有没有元气件烧坏。在排除电路部分的故障后，应考虑以下两个因素：
1、电机烧坏：主要为电机定子线圈烧毁，引起原因较多，如瞬间电流过大，电机轴承使用久了被磨损，致使轴承摩擦阻力变大，电机功率加大，引起温度上升，烧毁电机。这时应先检查电机轴承，再检查电机线圈。轴承损坏就更换轴承；电机线圈烧毁则应维修电机，重新绕制定子线圈。轴承和线圈损坏严重时，就需更换电机了。
2、旋片卡阻：主要表现为旋片与泵腔内表面的摩擦阻力过大，致使电机无法带动旋片。原因是旋片变形，转子内的弹簧张开后不能复位，或弹簧压力和旋片自身离心力的合力过大，导致旋片与泵腔内表面的摩擦阻力过大。这时就应及时修复旋片和弹簧，若不能修复则应更换。
真空泵维修，问题2、抽不到真空泵的极限真空度：首先检查真空系统的气密性，看是否有轻微漏气。其次应打开气镇，让泵运行30分钟左右,来抽干非泵油污染引起的可压缩蒸汽，排除可压缩蒸汽对极限真空度的影响。
在排除以上两个因素后，其他原因主要有：泵油污染，需要换油；泵内油过滤器堵塞，引起压缩注油系统油路不畅，供油不足，导致泵体密封不严，这时需要清洗内部油过滤器；配油器阀门变形、磨损或损坏也可导致供油不足，这时应检查更换配油器阀门；
长时间使用引起真空泵的旋片磨损或转子内的弹簧张力不足,，导致吸气室和排气室隔离不严，从而引起真空泵的抽真空性能下降，这时应当更换旋片和弹簧，并清洗转子和泵腔；检查排气阀门，观看其动作是否失灵，导致排气不畅，必要时应更换排气阀门。
真空泵维修，问题3、漏油：旋片式机械真空泵最常见的故障之一，主要发生在真空泵的油窗、油箱密封垫、电机轴承轴封三个位置上，其主要原因是真空泵使用时间过长而引起这些部位老化，密封失效，从而导致漏油。解决办法：更换老化的油窗、轴封、密封垫和已吸满泵油的毛毡垫，维修完成后，注油前应用爱德华真空泵泵油冲洗真空泵，并用溶剂清洗注油口处的滤网，以保持油箱的清洁
4. 爱德华真空泵漏油
圣科或者雷神。
机油有普通的，半合成，全合成。 只要不带“合成”，就算“普通的”。机油的衰减有期间限， 普通的一般暴露在空气中3个月就开始氧化。
第一次放油的时候，就算没有流出来了，在发动机缸体和机油泵里还有旧机油，立马加入新油的话，没多久就变黑了，因为与旧机油混合了，从而影响机油性能。
正确步骤应该是放掉旧机油后，倒入4l机油，怠速25分钟后熄火放掉再倒本次要用的优质机油，这是一个清洗的步骤。
清洗用油，倒入廉价新机油即可（仿品机油也行），用差机油可以的，但一定要新的，因为只是为了怠速20分钟把无法放出来的旧机油带出来，就等于你喝了可乐，瓶子里还有一些可乐没办法倒出来，这时候你加入一些水，摇晃瓶子再倒掉，瓶子就干净了，一样的道理。
怠速20分钟后放掉清洗用的差机油（你可以发现清洗用的机油加进去20分钟就黑得不行了，就是因为把残留的机油带了出来），顺便换机滤，有条件的话可以再用气枪吹吹，然后检查放油螺丝和机滤，确认已经拧紧后，倒入本次保养用的优质机油，边加边检查油位，加完后再看看有没有漏油，就行了。
5. 爱德华真空泵干泵
1、爪式真空泵
它是针对电子半导体工业而研制开发的干式真空泵，适应清洁真空需求，并且具有自行开闭的阀门效果，具备较高的效
率。
2、螺杆真空泵
螺杆真空泵和爪形真空泵一样，是一种非接触式无油真空泵。泵腔内无油、水等物质。同时，转子之间有间隙，因此对颗粒物和可冷凝气体有一定的耐受性。同时，与爪形真空泵相比，由于它没有与阀门类似的结构，存在效率不足的问题，但其气道通畅，转子结构简单，适应性较好，因此两者都具有优势。
3、涡旋式真空泵
涡旋真空泵的开发和生产主要，因此国内很多企业对这种无油真空泵并不了解。由于其抽速低，被广泛应用于分析仪器、半导体芯片生产线、科研设备以及分子泵和小型低温
泵。
4、罗茨真空泵
罗茨真空泵种类较多，分湿式、干式以及直排大气型、普通型、多级罗茨等等，因此造成了一些用户对它的误解。应用于中高真空的机械增压泵以及多级罗茨泵其实都是无油真空泵，且抽气量大，应用广泛。
5、无油旋片真空泵与无油活塞真空泵（往复泵）
普通的旋片式真空泵和活塞式真空泵虽然在泵腔内有油介质，但也可以利用自润滑材料实现无油运行，成为无油真空泵。另外，往复泵中的隔膜真空泵，也没有油型。
6、涡轮分子泵
它是一种原应用于超高真空的无油真
空泵，随着向高出口压力、高流量方向发展，应用范围逐渐向中高真空领域发展。