1. 光刻机厂商
目前，国内最为顶尖的光刻机制造商是上海微电子，该公司主营业务就是光刻机的开发、设计和制造。目前该公司生产的光刻机产品中，最先进的制程精度为28纳米级别。预计将会在2021年进行交付，但即便是上海微电子设计的国产光刻机，依旧需要对外界采购零部件。据悉，该公司预计将会在2021年下半年推出新的光刻机，用于提升28纳米芯片的产能。但在该光刻机的零部件中，依旧使用了大量来自日本公司提供的零件。
2. 中国最先进的光刻机
我国的光刻机技术仍然处于低端水平，上海微电子的光刻机代表我国光刻机的最高水平，制程工艺为90nm，而ASML的光刻机已经进入5nm的制程工艺，我国的高端光刻机全部依靠进口
3. 中国的光刻机
目前，中芯国际能够实现14nm工艺制成芯片的量产，这是我国光刻机的最高水平。
4. 中国能生产光刻机吗
中国目前最先进的光刻机是上海微电子的SSA600系列。
SSX600系列步进扫描投影光刻机采用四倍缩小倍率的投影物镜、工艺自适应调焦调平技术，以及高速高精的自减振六自由度工件台掩模台技术，可满足IC前道制造90nm、110nm、280nm关键层和非关键层的光刻工艺需求。
5. 最先进的光刻机
截止2020年10月，最先进的是14纳米。
纳米科技现在已经包括纳米生物学、纳米电子学、纳米材料学、纳米机械学、纳米化学等学科。从包括微电子等在内的微米科技到纳米科技，人类正越来越向微观世界深入，人们认识、改造微观世界的水平提高到前所未有的高度。
我国著名科学家钱学森也曾指出，纳米左右和纳米以下的结构是下一阶段科技发展的一个重点，会是一次技术革命，从而将引起21世纪又一次产业革命。