1. 光刻机量产
14纳米量产可以使用两种光刻机,一种是高端euv光刻机,一种是中端duv光刻机。euv光刻机是用于制造22纳米以下制程的,毫无疑问可以制造14纳米芯片。而duv光刻机可以在使用多次曝光等技术条件下最高达到7纳米制程,这个对技术要求非常高,目前全球也只有少数几家代工厂可以做到。
2. 国产光刻机最新消息
国产光刻机进展的程度如下。
作为国内唯一一家,全球四家之一的光刻机制造公司,上海微电子于今年通过了28纳米光刻机的技术检测和认证,目前应该处于量产阶段。该光刻机属于第四代duv光刻机,28纳米算是中端光刻机了。上海微电子将在明年向国内芯片制造企业交付28nm光刻机,这代表着国产光刻机最先进的技术水平,国产光刻机在大幅缩短与海外的技术差距。
3. 光刻机原理
是用极紫外激光在线路板上刻出线路。
4. 最先进的光刻机
目前ASML主要对外销售的光刻机设备为NXE:3400C,全新的模块化设计,也是让光刻机设备更加便于维护和维修,同时也支持7nm、5nm芯片工艺制程,而根据ASML此前所披露信息来看,目前也正在研发全新一代EUV光刻机设备EXE:5000系列,全新一代EUV光刻机设备的主要合作伙伴依旧还是卡尔蔡司、IMEC比利时微电子中心,而这次全新研发的EXE:5000系列EUV光刻机,分辨率更是直接提升了70%,意味着ASML这次所研发的EUV光刻机设备将会直接瞄准2nm,甚至是极限1nm芯片制程工艺。
5. 光刻机多少钱一台
根据ASML此前公布的数据显示,在熟练操作员的操作下,EUV光刻机的处理能力为200片12寸晶圆/小时。
但这只是理想状态,实际操作中最高为每小时处理100片左右,一天工作下来也就是1000片。 不过,这还只是晶圆,芯片产能还需要进一步计算。 以113.31平方毫米的麒麟990 5G为例,一块12英寸的晶圆在去除边角区域后,大约可生产600块芯片,数量已经十分可观。
那么,就是说一台EUV光刻机一天能生产60万片芯片? 不,这只是理想状态。 芯片制造十分复杂、严苛,稍有不慎便可能使得整片芯片废掉。 因此,还不得不考虑到良品率,这样一来,一块12英寸晶圆能生产的芯片数量便降至500片左右。
一天下来,EUV光刻机能生产50万片芯片,这一数字依旧十分惊人。
垄断全球的荷兰光刻机,一台设备卖10亿,一年能造多少颗芯片?
6. 中国能生产光刻机吗
中国最牛的光刻机生产商是上海微电子装备公司(SMEE),它可以做到的最精密的加工制程是90nm,相当于2004年最新款的 intel 奔腾四处理器的水平。别小瞧这个90nm制程的能力。这已经足够驱动基础的国防和工业。哪怕是面对“所有进口光刻机都瞬间停止工作”这种极端的情况时,中国仍然有芯片可用。
7. 光刻机国产
一支由清华大学机械工程系朱煜教授带队的清华大学研发团队,客服重重困难自主研发出了光刻机双工件台,这是中国光刻机再获得的一个重大突破。要知道光刻机制造的过程中,难度最大的就是双工件台的制造,毕竟双工件台是光刻机的两大核心部件之一,就连日本都没研发出来。有了双工件台就可以大大提高生产芯片的速度,这一成果让中国成为了世界上第二个可以生产双工件台的国家。虽然只是一个小小的成就和突破,但是也代表了中国企业发展芯片的决心,同时还显示出我国强大的自主科研能力,这一突破是中国光刻机领域的一小步,也是中国芯的一大步!
8. 中国最先进的光刻机
目前,国内最为顶尖的光刻机制造商是上海微电子,该公司主营业务就是光刻机的开发、设计和制造。目前该公司生产的光刻机产品中,最先进的制程精度为28纳米级别。预计将会在2021年进行交付,但即便是上海微电子设计的国产光刻机,依旧需要对外界采购零部件。据悉,该公司预计将会在2021年下半年推出新的光刻机,用于提升28纳米芯片的产能。但在该光刻机的零部件中,依旧使用了大量来自日本公司提供的零件。