1. 超低压真空泵工作原理
泵体中装有适量的水作为工作液。
当叶轮旋转时，水被叶轮抛向四周，由于离心力的作用，水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。
此时这个圆环型的真空压力变小，叶轮继续旋转就会从接口处吸入气体，此时入口被封闭。
吸入的气体在也在叶轮旋转中被压缩，当运转到与出气口相连时，由于在泵体内被压缩的气体压力大，就会把气体排出泵外，从而达到抽气，抽真空的功能。
2. 超低压真空泵原理
旋片式真空泵：定义泵内偏心安装的转子与定子固定面相切，两个（或以上）旋片在转子槽内滑动（通常为径向）并与定子内壁相接触，将泵腔分为几个可变容积的一种旋转变容积真空泵。通常，旋片与泵腔之间的间隙用油来作为密封，所以旋片真空泵一般是油封式机械真空泵。
一、旋片式真空泵结构：
旋片式真空泵可以抽除密封容器中的干燥气体，若附有气镇装置，还可以抽除一定量的可凝性气体。但它不适于抽除含氧过高的，对金属有腐蚀性的、对泵油会起化学反应以及含有颗粒尘埃的气体。
旋片式真空泵是真空技术中最基本的真空获得设备之一。旋片泵多为中小型泵。旋片式真空泵有单级和双级两种。所谓双级，就是在结构上将两个单级泵串联起来。一般多做成双级的，以获得较高的真空度。
旋片泵的抽速与入口压强的关系规定如下：在入口压强为1333Pa、1、33Pa和1、33×10-1（Pa）下，其抽速值分别不得低于泵的名义抽速的95%、50%和20%。
旋片泵主要由泵体、转子、旋片、端盖、弹簧等组成。在旋片泵的腔内偏心地安装一个转子，转子外圆与泵腔内表面相切（二者有很小的间隙），转子槽内装有带弹簧的二个旋片。旋转时，靠离心力和弹簧的张力使旋片顶端与泵腔的内壁保持接触，转子旋转带动旋片沿泵腔内壁滑动。
旋片式真空泵原理图：
旋片泵的旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分，当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间A的容积是逐渐增大的，正处于吸气过程。而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的，正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小的，正处于压缩过程。由于空间A的容积是逐渐增大（即膨胀），气体压强降低，泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强，因此将气体吸入。当空间A与吸气口隔绝时，即转至空间B的位置，气体开始被压缩，容积逐渐缩小，最后与排气口相通。当被压缩气体超过排气压强时，排气阀被压缩气体推开，气体穿过油箱内的油层排至大气中。由泵的连续运转，达到连续抽气的目的。如果排出的气体通过气道而转入另一级（低真空级），由低真空级抽走，再经低真空级压缩后排至大气中，即组成了双级泵。这时总的压缩比由两级来负担，因而提高了极限真空度。
旋转式真空泵工作原理：
1、液环真空泵工作原理：
液环真空泵常用的有水环真空泵和纳西泵。它主要用于抽吸气体，特别在抽吸腐蚀性气体时更为常用。
在泵体中装在适量的水作为工作液。当叶轮顺时针方向旋转时，水被叶轮抛向四周，由于离心力的作用，水形成一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮壳相切，水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触（实际上叶片在水环内有一定的插入深度）。此时叶轮轮壳与水环这间形成一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部零度为起点，那么叶轮在旋转前180度时小腔的容积由小变大，且与端面上的吸气口相通，此时气体被吸入，当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝；当叶轮继续旋转时，小腔由大变小，使气体被压缩；当小腔与排气口相通时，气体更被排出泵外。水环泵是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的，因此它属于变容式真空泵。
纳西泵的作用原理和水环真空泵一样，但是由于叶轮是在椭圆型壳体中旋转，在长轴方向的液环与叶轴间形成两个月牙形空间，叶轮旋转时就反复靠近和离开液环，空间也就反复缩小和扩大。这样，就可不断地将液体压出和吸入。
2、滑阀真空泵工作原理：
另一种典形的旋转真空泵为滑阀真空泵，泵壳内装一偏心的转子。转子上有若干槽，槽内有可以滑动的滑片。转子转地槽内的滑片向四周伸出，不与泵壳接触。气体于滑片与泵壳所包围的空间扩大的一侧吸入，于二者所包围的空间缩小的它侧排出。滑片真空泵所产生的低压可达0、06Pa。相比旋片真空泵运行更加稳定，耐用性更强。
3、喷射式真空泵工作原理：
喷射泵是利用流动时的动能与静压能相互转化的原理来吸送流体的，工作液体可以是蒸汽，也可以是液体。
喷射泵由工作喷嘴和扩压器及混合室相连而组成。工作喷嘴和扩压器这两个部件组成了一条断面变化的特殊气流管道。工作蒸气在高压下以很高的速度从喷嘴喷出，在喷射过程中，气流通过喷嘴可将静压能转变为动能。工作蒸汽压强和泵的出口压强之间的压力差，使工作蒸汽在管道中流动。
在这个特殊管道中，蒸汽经过喷嘴的出口到扩压器入口之间的这个区域（混合室），由于蒸汽流处于高速而出现一个负压区。此处的负压要比工作蒸汽压强和泵出口处所能承受的最大压强（反压强）低很多。此时，被抽气体吸进混合室，工作蒸汽和被抽气体相互混合并进行能量交换，把工作蒸汽静压能转变来的动能传给被抽气体，混合气流在扩压器扩张某而产生正激波，波后的混合气流速度降为亚音速，混合气流的压力上升。亚音速的气流在扩压器的渐扩流动时是降速增压的。混合气流在扩压器出口处，压力增加，速度下降，而后从压出口排出。故喷射泵也是一台气体压缩机。
3. 超低压真空泵的作用
射水泵的作用，射水泵其实本身是真空泵当中的一种，他在高压工作流体的喷射作用下进行输送流体的射手泵在实际使用的时候，工作液体会以一个比较高的速度从喷嘴的位置喷射出去，那么就可以在真空室当中形成一个低压的状态，将需要输送的流体吸入到真空式当中，然后进入到真空式后面的混合式中，充分的进行混合吼吼后慢慢的进入到扩散式当中，速度就会慢慢的降下来，然后这就是一个完整的输送流程了
4. 超小型真空泵
微型真空泵都是低功耗的，绝对真空度10Kpa，就算是比较高的了。
比如成都新为诚科技的微型真空泵VCH1028，流量是28L/min，真空度是10Kpa，无油、不污染工作介质，免维护、可24小时连续运转，允许介质富含水汽、任意方向安装；用途：气体循环、长时间抽真空、物体吸附等应用；另外还有微型真空泵VBH2005，体积仅114×37×59mm，重量仅330克，真空度是20KPa，也是属于高真空了，详细情况可以访问成都新为诚科技有限公司的网站
5. 真空泵真空压力
真空泵的极限压力可以简单理解为这台泵最高能抽到的真空泵。 测试一般是盲死抽气口，测试此时真空泵所抽的负压是多少。 6*10-2pa一般是双极旋片式真空泵的极限真空度，意思为0.06pa。 ------------------------------------------------------------------------------------------------
6. 低温真空泵
低温冷却剂循环泵的工作原理是：
在低温循环泵的工作状态下，由于叶轮不断旋转，液体不断从进水管内部进入。通过泵体后，从泵的龙头排出。
首先，设备的工作方式是在泵体中，当泵在使用时，它首先要向泵体注水。在电动机的高速旋转下，带动水泵叶轮高速旋转。因此，叶轮中的水也会旋转。在泵体的离心作用下，液体通过出口管排出。
水排出后，在泵壳的转轴附近形成真空。当泵充满水时，叶轮旋转产生离心力。叶轮中心压力降低是由于叶轮流道中的水在离心力作用下流入泵壳，一般低于进汽管中的压力。在这个压差的作用下，水从吸入罐流入叶轮。这样，水泵就可以连续抽水，连续供水。
在外部压力的作用下，进水管中的水被压入水跃，以充入真空。因此只要叶轮保持旋转，水就会从切线方向流入进水管，然后通过泵出口排出。这就完成了整个工作流。
低温循环泵采用机械制冷的低温液体循环设备，与真空冷冻干燥箱、循环水多功能真空泵配套，采用磁力搅拌等仪器进行多功能化学反应操作和药物低温储存。可提供低温液体和低温水浴。
7. 真空泵 压力泵
真空泵不能反转，反转一定会发生故障
旋片真空泵如果发生反转，一般也就出现在泵的启动以及停止阶段。
通常旋片真空泵由三相交流电机驱动，因此首先要注意电源线的连接，以保证旋转方向的正确。目前一些泵也会设置反向制动以防止泵的反转，一旦电源线接错，真空泵就无法启动。
而在停泵时，出口大气环境压力将使真空泵反转，因此需要会通过特殊的阀门将真空泵与真空室隔开，以防止反转使空气与泵油进入真空室。这种特殊的阀门一般是电磁放气阀，它一般与电机电源连在一起，安装于真空泵的入口管道中，当真空泵断电或控制开关断开时，电磁阀会打开，靠大气与泵入口的压差关闭泵与真空室之间的通道，并向真空泵入口放气。而真空泵启动时，电磁阀会关闭，真空泵对保护阀抽空，阀板靠弹簧压力打开。