1. 真空隔膜阀
真空阀门是指阀门内腔为真空状态，通常叫负压，内腔压力低于大气压，用于真空管道系统的阀门，有真空球阀，真空蝶阀，真空隔膜阀等。介质为高纯度。球阀、闸阀、截止阀等等均能生产成真空阀和普通常规阀门。
从外形上无区别，在阀门连接部位设计上是有分别的，只是细节上的问题。真空阀门相对于正压阀门具有下列特点：压力低于大气压，而阀瓣上的压降不能超过1公斤力/厘米2。介质的工作温度取决于使用装置的工艺过程。温度一般不超过-70 ~ +150℃的范围。
对这类阀门最基本的要求是保证连接的高度密封性和结构与垫片材料的致密性。
按介质压力真空阀门可分成四组：
1）低真空阀门：介质压力p=760~1毫米汞柱；
2）中真空阀门：p=1×10-3 毫米汞柱。
3）高真空阀门：p=1×10-4 ~1×10-7 毫米汞柱；
4）超高真空阀门：p≤1×10-8 毫米汞柱。真空阀门广泛采用的的阀杆作直线运动的真空波纹管截止阀。
闸阀却受到较大的限制，但大通径来说，可用的还有球阀、柱塞阀和蝶阀。
2. 真空隔膜阀工作原理
隔膜阀的工作原理是利用阀杆将弹性体薄膜紧压在阀座上用来隔断气路。转动手轮可带动阀杆上、下移动，使隔膜离开阀座打开阀门或使隔膜紧压在阀座上关闭阀门。
此种阀门如采用丁晴橡胶隔膜，适用于前级和预抽管道上及温度为-25～80℃的非腐蚀性气体。
如采用氟橡胶隔膜，可用于高真空系统，使用温度范围为-30～150℃。
3. 真空隔膜阀结构图
气动隔膜阀是一种特殊形式的截断阀，它的启闭件是一块用软质材料制成的隔膜，把阀体内腔与阀盖内腔及驱动部件隔开，故称气动隔膜阀。气动隔膜阀最突出特点是隔膜把下部阀体内腔与上部阀盖内腔隔开，使位于隔膜上方的阀杆、阀瓣等零件不受介质腐蚀，省去了填料密封结构，且不会产生介质外漏。隔膜阀按结构形式可分为：屋式、直流式、截止式、直通式、闸板式和直角式六种;连接形式通常为法兰连接，按驱动方式可分为手动、电动和气动三种，其中气动驱动又分为常开式、常闭式和往复式三种。屋脊式（堰式） 也称突缘式，其阀体是有衬里的。隔膜阀阀体衬里，就是为了更好的发挥它的耐腐蚀特性。这类结构，除直通式外，还可以制成直角式的。直通式截止阀 其结构形状与截止阀相似，这种形式的隔膜阀，流体阻力比屋脊式隔膜阀大，但密封面积大，密封性能好，可适用于真空度高的管道。直流式闸板阀 其结构形式与闸阀相似，闸板式隔膜阀流体阻力最小，适合于输送粘性物料。隔膜材料常用天然橡胶、氯丁橡胶、丁晴橡胶、异丁橡胶、氟化橡胶和聚氟乙丙烯塑料（F46）等。隔膜阀的缺点是耐压不高，一般在6kgf/cm2（0.6MPa）之内;耐温性能也受隔膜的限制，一般只能耐60~80℃，最高（氟化橡胶）也不超过180℃。选择阀门的依据 1、所选用阀门的用途、使用工况条件和操纵控制方式，阀门规格及类别，应符合管道设计文件的要求，工作压力要大于或等于管道的工作压力。 2、工作介质的性质：工作压力、工作温度、腐蚀性能，是否含有固体颗粒，介质是否有毒，是否是易燃、易爆介质，介质的黏度等。 3、对阀门流体特性的要求：流阻、排放能力、流量特性、密封等级等。 4、安装尺寸和外形尺寸要求：公称通径、与管道的连接方式和连接尺寸、外形尺寸或重量限制等。 5、对阀门的产品的可靠性、使用寿命和电动装置的防爆性能等附加要求。
4. 真空隔膜阀专利
隔膜式真空阀的动作原理是旋转手柄使阀杆向下运动，将橡胶隔膜直接压在阀座上，截止气流。反方向旋转手轮，阀杆向上运动，带动橡胶隔膜离开阀座，接通气流。
阀门主体采用铝合金铸造。结构简单、质量轻、体积小，密封性能良好。采用丁腈橡胶的隔膜真空阀，用于前级和预抽低真空管道上及温度-25～80℃的非腐蚀性气体。采用氟橡胶的隔膜真空阀，可用于高真空系统，使用温度范围为-30～150℃。
5. 真空隔膜阀结构
隔膜阀的工作原理是利用阀杆将弹性体薄膜紧压在阀座上用来隔断气路。转动手轮可带动阀杆上、下移动，使隔膜离开阀座打开阀门或使隔膜紧压在阀座上关闭阀门。
此种阀门如采用丁晴橡胶隔膜，适用于前级和预抽管道上及温度为-25～80℃的非腐蚀性气体。
如采用氟橡胶隔膜，可用于高真空系统，使用温度范围为-30～150℃。