膜片式压力传感器设计(薄膜压力传感器原理及应用)

海潮机械 2023-01-05 20:53 编辑:admin 229阅读

1. 薄膜压力传感器原理及应用

变化,同时通过电子线路检测这一变化,并转换输出一个对应于这个压力的标准信号,这样的过程就是薄膜压力传感器进行测量的过程。

对于薄膜压力传感器来说,灵敏度和线性度是薄膜压力力传感器最重要的两个性能指标。为了制作出能够满足实际应用需求的传感器,必需探索出一种薄膜压力力传感器灵敏度和线性度的有效仿真方法。实际的研究中,发现一种基于对压阻式压力传感器薄膜表面应力的有限元分析(FEA)和路径积分的仿真方法。通过这一方法实现了在满量程范围内不同压力值下对传感器电压输出值的精确估计,在此基础上对压力传感器的灵敏度和线性度进行了有效仿真。

2. 薄膜压力传感器的使用方法

一、压力传感器的使用和设置:

压力传感器两线制,一根线连接电源正极,另一个线也就是信号线经过仪器连接到电源负极,这种是最简单的,压力传感器三线制是在两线制基础上加了一个线,这根线直接连接到电源的负极,较两线制麻烦一点。

四线制压力传感器肯定是两个电源输入端,另外两个是信号输出端。四线制的多半是电压输出而不是4~20mA输出,4~20mA的叫压力变送器,多数做成两线制的。压力传感器的信号输出有些是没有经过放大的,满量程输出只有几十毫伏,而有些压力传感器在内部有放大电路,满量程输出为0~2V。

至于怎么接到显示仪表,要看仪表的量程是多大,如果有和输出信号相适应的档位,就可以直接测量,否则要加信号调整电路。五线制压力传感器与四线制相差不大,市面上五线制的传感器也比较少。

二、压力传感器的功能:

压力传感器是工业实践中最为常用的一种传感器,其广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业,下面就简单介绍一些常用传感器原理及其应用。另有医用压力传感器。

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压力传感器参数

脉动压力传感器原理

两线压力传感器接线

压力传感器安装位置

水压力传感器接线图

薄膜压力传感器原理

3. 薄膜压力传感器工作原理

高温压力传感器

高温压力传感器是工业实践中最为常用的一种压力变送器,其广泛应用于各种工业自控环境,涉及石油管道、水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道送风、锅炉,熔炉等众多行业。

高温压力传感器是为了解决在高温环境下对各种气体、液体的压力进行测量。主要用于测量锅炉、管道、高温反应容器内的压力、井下压力和各种发动机腔体内的压力、高温油品液位与检测、油井测压等领域。目前,研究比较多的高温压力传感器主要有SOS,SOI,SiO2,Poly2Si等半导体传感器,还有溅射合金薄膜高温压力传感器、高温光纤压力传感器和高温电容式压力传感器等。半导体电容式压力传感器相比压阻式压力传感器其灵敏度高、温度稳定性好、功耗小,且只对压力敏感,对应力不敏感,因此,电容式压力传感器在许多领域得到广泛应用。

高温压力传感器由硅膜片、衬底、下电极和绝缘层构成。其中下电极位于厚支撑的衬底上。电极上蒸镀一层绝缘层。硅膜片则是利用各向异性腐蚀技术,在一片硅片上从正反面腐蚀形成的。上下电极的间隙由硅片的腐蚀深度决定。硅膜片和衬底利用键合技术键合在一起,形成具有一定稳定性的硅膜片电容压力传感器。

4. 薄膜压力传感器原理图

奇数压力传感器故障处理方法:

1 输出信号为零

当压力传感器出现压力为零的现象时,可以从以下几个方面进行处理:首先检查管道内是否存在压力,仪表是否正常供电,之后检查是否存在电源极性接反的现象,最后检查电子线路板、感压膜头、压力传感器电源电压等。

2 加压力无反应

若加压力无反应则要检查取压管的阀门是否正常,变送器保护功能跳线开关是否正常,取压管是否堵塞,检查压力传感器零点和量程,更换传感膜头等。

3 压力变量读数偏差

压力传感器出现压力读数明显偏高或偏低的现象时,首先检查取压管路是否存在泄漏现象,再检查取压管上的阀门,对传感器进行微调,若还存在问题,更换新的传感膜头。

4 压力变量读数不稳定

该问题可通过隔离外界干扰源、检查导压管是否泄漏、管道是否存在杂物、检查隔离膜片时候出现服饰或变形、检查感压膜头等方法来排查。

5. 薄膜压力传感器原理及应用视频

钢化膜保护手机屏幕原理:钢化膜的硬度大于一般的铁制品,所以钢化膜会有效的防止手机屏幕受到铁器或者别的硬物的剐蹭。钢化玻璃手机贴膜是2012年美国新推出的一种手机保护膜,是目前对保护屏幕最具强化保护的高端新产品。这种保护层的厚度只有0.1毫米,能将原有的屏幕面完全覆盖,防止受到外力的损害,划伤,更增加了冲击吸收性,比PET膜的标准高5倍。不会影响屏幕的视频效果。