1. 中国最大的光刻机生产厂家
来源是荷兰阿斯麦尔公司的光刻机。
中芯国际14nm光刻机的来源是荷兰阿斯麦尔公司。准确点说并不是14纳米，而是28纳米光刻机，14纳米是中芯国际的量产芯片制程，而不是光刻机的精度。作为duv光刻机最高也就是28/22纳米精度。荷兰阿斯麦尔光刻机目前几乎处于全球垄断地位，市场占有率高于90%，中芯国际的光刻机也是荷兰阿斯麦尔公司的。
2. 国内光刻机生产厂家
衡阳地区没有光刻机相关生产工厂。
光刻机（lithography）又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。
国内唯一能够生产光刻机的企业(上海微电子)在上海。
3. 中国最大的光刻机生产厂家在哪里
能量产14纳米芯片。2022年中国光刻机能生产14纳米芯片。目前我国芯片制造工厂最高可以批量生产14纳米芯片，而技术上可以生产7纳米芯片，不过目前良品率不高无法量产。
4. 全球最大光刻机生产公司
世界光刻机目前根据不同工艺可以分别做到 14 nm 和 5nm以下。
目前光刻机生产的芯片最小的是三星和台积电为3nm。
目前最高端的EUⅤ光刻机波长13.5nm，曝光精度14nm，釆用平面工艺，也就是14nm，釆用finfet工艺可达5nm以下。
荷兰ASML公司是全球最大的光刻机制造商，也是全球唯一可以提供EUV光刻机的厂商，在全球高端光刻机市场处于垄断地位。
5. 中国最大的光刻机生产厂家是哪里
台积电光刻机是荷兰ASML公司的。
台积电是中国台湾的一家专业积体电路制造服务企业。根据2019年的数据，台积电在全球半导体制造领域的市场份额高达52%，其客户包括括苹果、高通等科技巨头。目前市值高达4090.78亿美元，是中国台湾市值最高的公司之一。据了解，台积电拥有荷兰ASML公司制造的EUV光刻机，这让很多人感到疑问，为什么台积电为什么有光刻机？其实，台积电是ASML公司的股东之一，也是其最重要客户的客户之一，并且有美国的支持，所以台积电能成功购买到ASML公司的光刻机。