1. 国产光刻机龙头上市公司
1、大族激光（002008），最新股价39.35元，总市值419.89亿：2021年6月17日公司在互动平台称：公司在研光刻机项目分辨率3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用，今年有望实现小批量销售。
2、张江高科（600895），最新股价16.40元，总市值253.99亿：2021年3月，公司在互动平台表示，上海张江浩成创业投资有限公司2021年投资了上海微电子装备有限公司22，345万元，投资比例为10.779%。
3、晶方科技（603005），最新股价55.50元，总市值188.34亿：2021年6月，公司在互动平台表示，荷兰光刻机制造商ASML为公司参与并购的荷兰Anteryon公司的最主要客户之一。Anteryon为全球同时拥有混合镜头、晶圆级微型光学器件工艺技术设计、特性材料及量产能力的技术创新公司，其产品可广泛应用于半导体精密设备、工业自动化、汽车、安防、3D传感器为代表的消费类电子等应用领域。
4、赛微电子（300456），最新股价21.39元，总市值136.71亿：2021年6月，公司在互动易平台披露：公司一直为全球光刻机巨头厂商提供透镜系统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务。ASML为公司商业合作伙伴。公司瑞典与北京分别拥有数台光刻机；瑞典产线2021-2021年产能利用率一直保持在80%以上的高水平
5、万业企业（600641），最新股价13.92元，总市值133.34亿：全资子公司凯世通采取“领先一步”的策略、采用有国际竞争力的设计理念，着力研制16纳米及以下制程的FinFET集成电路离子注入机，并针对研制低能大束流离子注入机所需要解决的关键技术和技术难点，建立起相应的研发平台、相关核心关键技术及工艺的研究参数数据库和性能检测规范标准。2021年凯世通的低能大束流离子注入机迁机成功，顺利进入离子注入晶圆验证阶段。参股公司上海半导体装备材料基金持有华卓精科2.08%股权。
6、上海新阳（300236），最新股价41.58元，总市值120.85亿：2021年2月，公司在互动易平台表示，中芯国际是公司的主要客户之一。2021年2月，公司在互动易平台披露，公司KRF光刻机能支持96层3DNAND用光刻胶研究，及250nm、130nm工艺制程逻辑电路用光刻胶研究。公司正在加快开发第三大核心技术——光刻技术，在集成电路制造用ArF干法、KrF厚膜胶、I线等高端光刻胶领域已有重大突破。同时，积极布局半导体硅片、半导体湿法工艺设备、平板液晶显示用光刻胶等业务领域。
7、南大光电（300346），最新股价28.13元，总市值114.46亿：超募资金投资”ArF光刻胶产品的开发与产业化”项目。
8、飞凯材料（300398），最新股价15.60元，总市值80.47亿：公司从事PCB光刻胶专用化学品。
9、*ST胜利（002426），最新股价2.08元，总市值71.58亿：胜利精密计划募资不超过20亿元，投向光刻机产业化。
10、华特气体（688268），最新股价57.49元，总市值68.99亿：华特气体是特种气体龙头企业。
2. 国产光刻机股票龙头
光刻机龙头企业只有荷兰阿斯麦尔。
全球能制造光刻机的仅有四家，排第一的是荷兰阿斯麦尔公司，此公司是唯一能制作euv光刻机的厂商。还有日本的尼康和佳能，这两家都是只能生产duv光刻机的厂家。还有一家是中国的上海微电子，也是duv光刻机厂家。上海微电子目前能生产90nm及以上机型，预计年底能投产28nm机型。
3. 国产光刻机中国龙头股
国产替代：长电科技、通富微电、华天科技、芯原股份、兴森科技、华峰测控、长川科技。
单晶炉：晶盛机电
光刻机：芯碁微装
刻蚀机：中微公司、北方华创、神工股份
离子注入：万业企业
CVD/PVD：北方华创
氧化扩散：北方华创
涂胶显影：芯源微
键合机：奥特维
划片机：奥特维
检测：精测电子、长川科技、华兴源创、赛腾股份等。
4. 国产光刻机上市企业
国产8纳米芯片的上市公司是中芯国际。
中芯国际公司股票于2020年7月16日在上海证券交易所科创板上市，股票代码SH688981。
2021年10月，中芯国际生产出了8nm工艺制程的芯片产品，这款全新的8nm工艺芯片，具备了性能更强、功耗更低、面积更小等优点，虽然远不及目前顶级的的5nm工艺技术，但这也是中芯国际在摆脱了对EUV光刻机依赖后，所能够达到最顶尖的芯片制造工艺技术。
5. 国产光刻机上市公司龙头股票
光刻机是用于芯片制造的核心设备，按照用途可以分为用于生产芯片的光刻机、用于封装的光刻机和用于LED制造领域的投影光刻机
光刻机的核心原理就是一个透镜组，在精度上首先有个概念：现在芯片的线条精度已发展到10nm级别，而较大的原子直径是将近1nm，把芯片放在电子显微镜下即可清晰地数出每个线条上有几个原子。
芯源微、华特气体、清溢光电等光刻机龙头可大胆买入，长线持有。
6. 中国国产光刻机唯一上市公司
上微光刻机就是上海微电子。
上海微电子是国内唯一一家制造光刻机的企业，是全球四家制造光刻机的企业之一，但上海微电子并没有上市。上海微电子装备(集团)股份有限公司(简称SMEE)主要致力于半导体装备、泛半导体装备、高端智能装备的开发、设计、制造、销售及技术服务。公司设备广泛应用于集成电路前道、先进封装、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等制造领域。
7. 国产光刻机的上市公司
质量好，光刻机是芯片制造的核心设备之一，按照用途可以分为好几种：有用于生产芯片的光刻机；有用于封装的光刻机；还有用于LED制造领域的投影光刻机。用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上最大的短板。
光刻机被称为“人类最精密复杂的机器”，该领域的龙头老大是荷兰ASML，并已经垄断了高端光刻机市场。荷兰ASML公司EUV光刻机售价高达1亿美元，而且只有ASML能够生产。
相比之下，中国最好的光刻机厂商上海微电子装备有限公司（SMEE）已经量产的光刻机中，性能最好的SSA600/20工艺只能达到90nm，相当于2004年上市的奔腾四CPU的水准。而国外的先进水平已经达到了7纳米，正因如此，国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口。