光刻机的重要性(光刻机的主要作用)

海潮机械 2023-02-01 17:44 编辑:admin 194阅读

1. 光刻机的主要作用

光刻机的作用是蚀刻芯片的功能及线路,当然也包括了制造处理器这样的大规模集成电路或者内存颗粒、闪存颗粒等等。--光刻机是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备。可以分为两种,分别是模板与图样大小一致的contact aligner,曝光时模板紧贴芯片;以及利用类似投影机原理的stepper,获得比模板更小的曝光图样。

2. 光刻机的概念

光刻机(Mask Aligner) 又名:掩模对准曝光机、曝光系统、光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫 Mask Alignment System。

一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。

3. 光刻机的作用是什么

一般来说是用激光。比如说要在玻璃上刻蚀图形,大致步骤为:清洗玻璃、干燥、在玻璃上涂覆光致抗蚀剂(即光刻胶有正性和负性之分)、干燥(固化)、曝光(方式很多,如激光直写、通过掩模板同时曝光等)、去胶(光刻胶曝光后性质发生光化学变化,去胶的方法也很多,如放在刻蚀剂中,用正性胶的话,被光照到的地方就会被溶解,没有光照到的地方光刻胶保留下来,到这里就已经在光刻胶上刻蚀出了所需图形)、清洗、转移(方法更多,如离子束轰击,光刻胶和玻璃同时被轰击,光刻胶被轰击完后,暴露出来的玻璃也被轰击,就把光刻胶上的图形转移到玻璃上)。实际上,光刻的方法和具体步骤相当复杂,对环境要求也非常高,以上只是基本步骤,让你大致了解而已。

4. 光刻机的主要作用有哪些

光刻机是芯片制造的核心设备之一,按照用途可以分为好几种:有用于生产芯片的光刻机;有用于封装的光刻机;还有用于LED制造领域的投影光刻机,同时用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上最大的短板。

光刻机(MaskAligner)又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻,所以叫MaskAlignmentSystem.一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。Photolithography(光刻)意思是用光来制作一个图形(工艺);在硅片表面匀胶,然后将掩模版上的图形转移光刻胶上的过程将器件或电路结构临时“复制”到硅片上的过程。

5. 光刻机的特点

1961年推出第一台光刻机,型号:第一代971型号。

早在1961年,David Mann公司就已经在市场上推出了一台光刻机。这台机器有些瑕疵,但在当时足以用来制造晶体管。使David Mann公司加快发展步伐的不是工程师和学者,而是数十名客户用他们的具体问题促使精密仪器工程师去改进机器。

公司:David Mann(被GCA收购成为其子公司)

价格:30000美金

时间:1961年

型号:第一代971型号,1962年推出了1080型

名称: Photorepeater(重复曝光机)

精度:1微米(1纳米的1千倍)

特点:需要人不断手动操作调节来实现准确定位。

6. 光刻机是用来做什么的

一、用途

光刻机是芯片制造的核心设备之一,按照用途可以分为好几种:有用于生产芯片的光刻机;有用于封装的光刻机;还有用于LED制造领域的投影光刻机。

用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上最大的短板,国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口,本次厦门企业从荷兰进口的光刻机就是用于芯片生产的设备。

二、工作原理

在加工芯片的过程中,光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到硅片上,然后使用化学方法显影,得到刻在硅片上的电路图。

一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、激光刻蚀等工序。经过一次光刻的芯片可以继续涂胶、曝光。越复杂的芯片,线路图的层数越多,也需要更精密的曝光控制过程。

7. 光刻机有多重要

光刻机的作用是蚀刻芯片的功能及线路,当然也包括了制造处理器这样的大规模集成电路或者内存颗粒、闪存颗粒等等。--光刻机是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备。可以分为两种,分别是模板与图样大小一致的contact aligner,曝光时模板紧贴芯片;以及利用类似投影机原理的stepper,获得比模板更小的曝光图样