光刻机用反射镜(光刻机透镜)

海潮机械 2023-02-03 09:36 编辑:admin 82阅读

1. 光刻机透镜

光刻机一般是用惰性气体激光。

光刻机通常是用惰性气体产生的准分子激光,准分子激光是一个冷的紫外光,它是准分子产生的激光,就是一种准分子物质。这种物质叫二聚体气体,这种气体在强烈的一些电厂的照射下,它会产生一种紫外光,这种紫外光,叫准分子激光,这种准分子是一种相当不稳定的物质,它稍纵即逝,我们称它为准分子。光子能量波长范围为157-353纳米,寿命为几十毫微秒。阿斯麦尔的EUV光刻机用的是CO2产生激光,再轰击锡滴产生13.5纳米的极紫外光。

2. 光刻机透镜 公司

     光刻机是用于芯片制造的核心设备,按照用途可以分为用于生产芯片的光刻机、用于封装的光刻机和用于LED制造领域的投影光刻机

     光刻机的核心原理就是一个透镜组,在精度上首先有个概念:现在芯片的线条精度已发展到10nm级别,而较大的原子直径是将近1nm,把芯片放在电子显微镜下即可清晰地数出每个线条上有几个原子。

     芯源微、华特气体、清溢光电等光刻机龙头可大胆买入,长线持有。

3. 光刻机透镜谁生产

不是,主流的英特尔处理器会有20亿个晶体管,高端产品可以达到60亿个,一个个的链接方法不现实,所以采用光刻蚀技术。

光刻蚀过程就是使用一定波长的光在感光层中刻出相应的刻痕,由此改变该处材料的化学特性。

这项技术对于所用光的波长要求极为严格,需要使用短波长的紫外线和大曲率的透镜。

刻蚀过程还会受到晶圆上的污点的影响。

每一步刻蚀都是一个复杂而精细的过程。

设计每一步过程的所需要的数据量都可以用10GB的单位来计量,而且制造每块处理器所需要的刻蚀步骤都超过20步(每一步进行一层刻蚀)。

而且每一层刻蚀的图纸如果放大许多倍,可以和整个纽约市外加郊区范围的地图相比,甚至还要复杂。

当这些刻蚀工作全部完成之后,晶圆被翻转过来。

短波长光线透过石英模板上镂空的刻痕照射到晶圆的感光层上,然后撤掉光线和模板。

通过化学方法除去暴露在外边的感光层物质,而二氧化硅马上在陋空位置的下方生成。

4. 光刻机透镜的基本原理

首先,二者发光原理不同。

DUV光刻机光源为准分子激光,而EUV光刻机则是激光激发等离子来发射EUV光子。通过不同方式,二者发出的光源也不同。其中,DUV光刻机的波长能达到193纳米,而EUV光源的波长则为13.5纳米。

二者之间的差距十分明显,波长越短,所能实现的分辨率越高。这让EUV光刻机能够承担高精度芯片的生产任务。

其次,二者的光路系统有着明显的差异。

DUV光路主要利用光的折射原理。其中,浸没式光刻机会在投影透镜与晶圆之间,填入去离子水,使得193nm的光波等效至134nm;而干法光刻机则不会如此,其介质为空气。

而EUV光刻机则是利用的光的反射原理,内部必须为真空操作。这是因为,EUV光刻机的光源极易被介质吸收,只要真空才能最大程度保证光源能量不被损失。

最后,EUV光刻机镜头难度更大。

5. 光刻机透镜系统

需要定期更换。

光刻机光源是需要定期更换的,严格来说是光刻机的紫外光光源会随使用度而衰减而需要更换。晶圆厂一般是24小时不停机生产的,24小时高强度使用下,不仅光源系统中激发深紫外光或极紫外光光源的物质、物镜系统的透镜镀膜会不会损伤或剥落,从而需要定期更换,更换就不得不向美国、德国购买。