一、中国最先进的光刻机
中国顶尖光刻机就是上海微电子的，没有其他排名。
我们国家光刻机是以上海微电子装备有限公司（SMEE）和中科院以及武汉光电国家研究中心为代表。SMEE的光刻机目前来说它有四大系列，分别是200系列光刻机、300系列光刻机、500系列光刻机、600系列光刻机。这些系列机器仅能够做出90nm工艺的芯片，与国外先进的7nm工艺，甚至更为先进的5nm工艺的光刻机还差很多。上海微电子预计年底能完成首台28纳米光刻机。
二、光刻机最新消息
中国首台国产28nm光刻机有望年底投入使用
上海微电子的28纳米光刻机已经正式通过了技术认证和检测，有望在年底投入使用，这预示着我们在摆脱外国技术依赖上又前进了一大步。这个消息让无数国人感到沸腾。
相信在不久的未来，中芯国际等半导体行业，飞速发展的背后预示的是中国智造的崛起，这一点体现在各行各业，尤其是手机领域今年的表现就十分亮眼。
三、国产最新光刻机
国产光刻机可以生产国产芯片，我们的芯片被外国卡脖子，我们自己能生产就不会受制于人，台积电使用的光刻机比较先进，能生产五纳米以下的芯片，我们自己掌握了22纳米的光刻机，可以生产对体积要求没有那么敏感的芯片，比如说汽车上的芯片，大型设备上的芯片。
四、刻蚀机和光刻机的区别
刻蚀机和光刻机的区别：光刻机把图案印上去，然后刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案（或者没有图案）的部分，留下剩余的部分。
刻蚀相对光刻要容易。
如果把在硅晶体上的施工比成木匠活的话，光刻机的作用相当于木匠在木料上用墨斗划线，刻蚀机的作用相当于木匠在木料上用锯子、凿子、斧子、刨子等施工。蚀刻机和光刻机性质一样，但精度要求是天壤之别。
五、光刻机
1、大族激光（002008），最新股价39.35元，总市值419.89亿：2021年6月17日公司在互动平台称：公司在研光刻机项目分辨率3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用，今年有望实现小批量销售。
2、张江高科（600895），最新股价16.40元，总市值253.99亿：2021年3月，公司在互动平台表示，上海张江浩成创业投资有限公司2021年投资了上海微电子装备有限公司22，345万元，投资比例为10.779%。
3、晶方科技（603005），最新股价55.50元，总市值188.34亿：2021年6月，公司在互动平台表示，荷兰光刻机制造商ASML为公司参与并购的荷兰Anteryon公司的最主要客户之一。Anteryon为全球同时拥有混合镜头、晶圆级微型光学器件工艺技术设计、特性材料及量产能力的技术创新公司，其产品可广泛应用于半导体精密设备、工业自动化、汽车、安防、3D传感器为代表的消费类电子等应用领域。