一、薄膜压力传感器的原理？
工作原理是将一个薄膜（如Pt-Ir）作为一个弹性元件，将受压力气体（如液体或气体）作为一个外力，对薄膜施加压力；上面固定一个有弹性特性的膜，用于检测受压力气体对薄膜施加的压力；在受压力气体施加压力时，两个膜表面会发生紧密贴合，从而引起一些物理和化学变化。
二、柔性薄膜压力传感器原理？
柔性薄膜压力传感器工作原理：
柔性薄膜压力传感器是由综合机械性能优异的聚酯薄膜, 高导电材料和纳米级压力敏感材料组成,顶层是柔性薄膜和复合在上面的压敏层,底层是柔性薄膜和复合在上面的导电线路。两者通过双面胶贴合以及隔离感应区域。当感应区受压时,在底层彼此断开的线路会通过顶层的压敏层导通,端口的电阻输出值随着压力变化。无压力按压时,传感器的输出阻值大于 2M Ω,有压力按压时,电阻值迅速降低。 一个在特定测试条件下电阻随压力变化的曲线。很显然是非线性的。
三、溅射薄膜压力传感器量程如何调整？
根据现场仪表设置，注意范围的变化。如现场仪表是0-1Mpa，变频器上采用Kpa为单位，量程设置为1000。
3.PId设置
由于被控变量是压力，对象时间常数不大，不用微分。因此只要PI控制。比例度设置范围30～70%，积分时间设置0.4~3.0S
四、薄膜压力传感器怎么用？
变化，同时通过电子线路检测这一变化，并转换输出一个对应于这个压力的标准信号，这样的过程就是薄膜压力传感器进行测量的过程。
对于薄膜压力传感器来说，灵敏度和线性度是薄膜压力力传感器最重要的两个性能指标。为了制作出能够满足实际应用需求的传感器，必需探索出一种薄膜压力力传感器灵敏度和线性度的有效仿真方法。实际的研究中，发现一种基于对压阻式压力传感器薄膜表面应力的有限元分析(FEA)和路径积分的仿真方法。通过这一方法实现了在满量程范围内不同压力值下对传感器电压输出值的精确估计，在此基础上对压力传感器的灵敏度和线性度进行了有效仿真。