1. 18纳米光刻机
荷兰阿斯麦尔公司的euv光刻机售价大约1.5亿欧元，不过要说明的是并没有5纳米光刻机，euv光刻机目前处于第一代，也就是13.5纳米极紫外光光源波长本身就是euv光刻机的精度，只不过台积电和三星通过技术使其能够加工出5nm芯片甚至更高制程。荷兰阿斯麦尔euv光刻机非常昂贵，每台售价差不多1.5亿欧元。
2. 光刻机20纳米
中国顶尖光刻机就是上海微电子的，没有其他排名。
我们国家光刻机是以上海微电子装备有限公司（SMEE）和中科院以及武汉光电国家研究中心为代表。SMEE的光刻机目前来说它有四大系列，分别是200系列光刻机、300系列光刻机、500系列光刻机、600系列光刻机。这些系列机器仅能够做出90nm工艺的芯片，与国外先进的7nm工艺，甚至更为先进的5nm工艺的光刻机还差很多。上海微电子预计年底能完成首台28纳米光刻机。
3. 中国17纳米光刻机
集中了美国、德国、日本、荷兰等国家的顶尖技术。
光刻机作为全球最顶尖的大型光电设备，集合了很多国家的顶尖技术。光刻机核心零部件的镜头和光源都是来源于欧美国家，其中镜头来德国蔡司，光源美国的cymer。另外湾有4家企业是ASML的主要供应商之一。荷兰阿斯麦尔光刻机前17大供应商主要集中在欧盟，美国，日本以及湾，其中美国占了9家，湾占了4家，日本占了3家，德国占了一家
4. 纳米技术光刻机
国产光刻机，3年前就达到了90nm，是可以生产28纳米制程芯片，正在大量递增地使用中。ASML的也是这样的，是行业常识。估计还有2年，也就是2022年夏天，国产的28nm DUV光刻机能研发出来，就能制造7nm的芯片了。但，能做到稳定量产，可能还需再等到，2025年初。
5. 7纳米以下光刻机
阿斯麦提纳米光刻机2019年才生产出来
6. 28纳米的光刻机
2.5d光刻机可以做到4纳米。
所谓2.5d光刻机实际指的是芯片制造领域内作为后道工序的封装光刻机，至于封装光刻机能做到几纳米要看前道光刻机制程是几纳米的，因为2.5d光刻机的技术要求远远小于光刻机，所以前道光刻机出几纳米制程的，2.5d就能做到几纳米的。
比如上海微电子能制造的最先进光刻机是中端28纳米duv光刻机，而却可以制造5纳米的2.5d封装光刻机。
7. 中国20纳米光刻机
中国最少要20年左右才能造出2纳米左右的光刻机！现在世界上最先进的光刻机制造厂家是荷兰的阿斯麦公司，他最先进的光刻机是13.5nm光源的EUV光刻机，使用台积电最先进的生产工艺现阶段能达到3nm工艺节点。中国最先进的光刻机是上海微电子90nm光刻机，与世界先进水平差距比较大！