荷兰的光刻机卖给中国了吗(荷兰光刻机卖给中国了没有?)

海潮机械 2023-02-05 19:53 编辑:admin 127阅读

1. 荷兰光刻机卖给中国了没有?

光刻机运输要用特种运输车,特别包装,防振,小心运输:

1、气垫运输,光刻机运输中需要保证全程加气垫,避免因为震动而使内部遭到破坏。

2、真空木箱打包,因为光刻机运输要保持全程恒温恒压,所以要使用真空木箱打包技术。

3、恒温气垫车运输,光刻机运输过程中,温度要保持在26度,湿度要保持在40度,因此要用特种运输车辆来运输。

2. 荷兰不卖光刻机

荷兰阿斯麦尔公司的euv光刻机售价大约1.5亿欧元,不过要说明的是并没有5纳米光刻机,euv光刻机目前处于第一代,也就是13.5纳米极紫外光光源波长本身就是euv光刻机的精度,只不过台积电和三星通过技术使其能够加工出5nm芯片甚至更高制程。荷兰阿斯麦尔euv光刻机非常昂贵,每台售价差不多1.5亿欧元。

3. 为什么荷兰光刻机不卖给中国

因为华为没有光刻机,虽然华为很尖端也在很多领域很先进,但华为还没有能力生产光刻机,但华为正在研究石墨芯片只要成功将有望远超荷兰阿斯麦光刻机。

光刻机(Mask Aligner)是制造微机电、光电、二极体大规模集成电路的关键设备。其分为两种,一种是模板与图样大小一致的contact aligner,曝光时模板紧贴晶圆;另一种是利用类似投影机原理的stepper,获得比模板更小的曝光图样。高端光刻机被称为“现代光学工业之花”,制造难度很大,全世界只有少数几家公司能制造。

中文名

光刻机

外文名

Mask Aligner

别名

掩模对准曝光机

光源波长

350 nm -450 nm

作用

用光制作一个图形

4. 荷兰光刻机卖给中国了吗

中国有自己的光刻机,由中国科学院光电技术研究所承担的国家重大科研装备研制项目“超分辨光刻装备研制”通过验收,这是世界上首台用紫外光实现了22nm分辨率的超分辨光刻装备,为纳米光学加工提供了全新的解决途径。

虽然ASML光刻机技术先进,但荷兰并不是一国之力就能制造的。 其中,光学仪器来自美国,透镜组件来自德国蔡司,另外5万个零件也依赖海外进口。

虽然中国已经突破了22纳米光刻机的技术,但与荷兰ASML公司的5纳米水平仍然有很大差距。 但是,技术总是从无到有,从有到优的过程,就像万事难以开始一样。 现在,国产光刻机已经有了良好的开端,相信不会让国民失望。 同时,中国在科技领域创造的奇迹已经不少了。

在加工芯片的过程中,光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段,使光束透过绘有电路图的掩模,用物镜补偿各种光学误差,将电路图按比例缩小映射到硅片上,用化学方法显影,刻在硅片上的电路图

5. 荷兰光刻机卖了几台给中国

14nm。

目前国内光刻机技术水平距离世界先进还有较大差距,特别是跟荷兰的阿斯麦这样顶尖的公司对比。所以先进制程的光刻机只能依靠进口,14nm的光刻机已经是目前可以获得的最先进光刻机。

7nm制程的光刻机,目前因为禁运原因,国内拿不到。14nm也不是想买就能买的。

6. 荷兰光刻机卖给中国了没有

ASML的成立很偶然,是另一家著名公司飞利浦,随手促成玩玩的,完全没指望他可以做大。

ASM的老板叫Arthur del Prado,毕业于哈佛商学院。毕业后回到荷兰创建了ASM。

他的目标,是在欧洲建立一座硅谷。

正好,当时光刻机门槛不高,飞利浦刚刚在实验室里研发出了自动化步进式光刻机的雏形,但这个雏形还不够成熟。

飞利浦拿着它去找业界老大,但无论是GCA还是P&E,都不愿意合作,瞧不上这个不成熟的东西。

ASM主动找上门来,想要寻求合作,但飞利浦又嫌弃ASM体量太小。

飞利浦这个光刻机高不成低不就的,就快砸手里了。

1983年,ASM在纳斯达克上市了。飞利浦意识到,这个ASM比自己想象中的似乎强不少。

于是,飞利浦再次找到ASM,打算给自己的光刻机找个接盘侠。

为什么说是接盘侠呢?

因为原本飞利浦和ASM谈的是,双方各出210万美金,成立一个合资公司ASML。

但真等到要拿钱出来的时候,飞利浦连这点钱也不愿意拿,硬是用一些还不太成功的库存PAS2000光刻机抵了180万美金。

换句话说,飞利浦真没觉得这生意能做大,就想借这个公司占一个坑观望观望。

事实上,初期的确如此。

ASML成立之初,只有31个员工,这31个员工就在飞利浦豪华玻璃大楼外面的小破木板平房里办公,连大楼都进不去,跟要饭的差不多,业绩也是极为惨淡。

1986年,半导体市场遭遇危机,整体来了个大滑坡,光是三星就在半导体上亏了3亿多美元!

连带着搞光刻机的厂商,也遭了殃。美国的GCA找不到买主被关闭,Ultratech被卖出去后还缩小了规模,P&E也被卖给了SVG……

美国三雄的地位,已经完全被尼康和佳能替代了。

而ASML本身规模小,想亏也没啥能亏的,尼康占据了高端的市场,原来的美国公司没了,反而让他们有了10%的市场占有率。

和尼康比起来,他们就是个小虾米。

但谁也没有想到的是,整个光刻机行业的发展瓶颈,给了ASML一个意外咸鱼翻身,反超尼康的机会!

尼康光刻机

2

ASML反超尼康的机会,来源于光刻机技术碰见困难了,前进不了,整个行业都卡那儿好多年了,前方堵车,此路不通。

困难是什么呢?

做芯片这件事,就是在硅上用刀雕花刻字,激光就是那个刻字的“刀”。

光源的波长数小了,刀更精致了,能加工的芯片自然而然也就更加精细了。

而全世界已经卡在193nm很久了,寸步难进。

当时的业界有好几个思路。

第一种,是以尼康为代表的157nm。这种做法的难度在于,157nm光会被现有193nm机器用的镜片吸收,相对应光刻胶也要重新研制。

重新研制问题也不大,但从193到157,这个进步实在是太小了,很有可能入不敷出。

以前,尼康因为镜头出色,而为自己打出了一片天地。而这时候,事事亲力亲为,成了它失败的原因。

由于要自己研发,慢,成了它的第一个弱点。同时,事事都做,就不可能事事都做得好。于是,尼康在研发过程中经常不是这里出了问题,就是那里有个毛病。

第二种,是将光源改为极紫外光EUV,它只有13.5nm,但难度更大,以当时的技术根本实现不了。

所以这两种思路在当时,都失败了。

这时候,台积电的一个叫做林本坚的工程师,提出了一个独树一帜的新思路:

只要在光刻胶上加一层水,激光入水折射,193nm不就一下变成134nm了吗?

但他的想法刚提出来的时候,根本就没有人买林本坚的账,甚至还有大公司高层找到台积电,希望有人管管林本坚,让他不要出来瞎搅合。

但林本坚没放弃,他找来找去,终于找到了ASML,愿意和他合作。

两家一拍即合。2004年,双方共同研发出了全球第一台浸润式光刻机!

尽管尼康也宣布157nm的样机研制成功了。但ASML的机器显然弯道超车了,更受欢迎。

光刻机的市场就那么大,这一场道路选错要了老命,尼康大输一阵!

如果说,尼康在市场占有率上的第一次被反超,还只是路线选择错误翻车了的话,那么后来差距的被进一步拉大,就完全是政治问题了。

林本坚的思路是一个取巧的办法,但彻底改变光源才是未来势必要走的一条路。

早在1997年,英特尔就和美国能源部牵头,拉了AMD、摩托罗拉等搞了一个前沿组织EUV LLC。

这个组织实力非常强大,成员囊括了美国劳伦斯利弗莫尔、劳伦斯伯克利和桑迪亚三大国家级实验室。

前后有近40个国家加入战团,欧美发达国家几乎悉数入局,是业内科研最为顶级的组织!

对于尼康和ASML来说,两个企业势必要拉一个进来。

然而,美国选择了ASML,尼康被排除在外了——美国怕尼康窃取自己的技术,也怕日本掌握核心技术不安全。

同时,ASML没少给美国承诺,立投名状。

EUV光刻技术比以往复杂了百倍:

光源需要重新来,镜头需要重新磨,光源的功率需要提升……总之,没近路可以抄。

日本尼康就是在科研上再厉害,也比不过全世界集体合作。

2009年,Cymer公司的EUV光源功率达到100W,接近商业化指标,成为了ASML的光源模组供应商。

终于,EUV光刻机研制成功。

前前后后算起来,钱还是其次,无数科研人员的精力和时间,是多少钱都买不来的。

一台EUV光刻机的重量超过180吨,整个光刻机的零配件超过10万件,而要想把这样的一台光刻机从出厂运到客户工厂中,至少需要40个集装箱!

仅仅是从安装到调试,就需要一年的时间。

和这样宏大的项目比起来,尼康力有未逮,和ASML的差距越拉越大,绝望得再也看不到翻盘的希望。

其实,不要说日本了,对全世界任何一个国家来说,ASML都是众星捧月的那个“月亮”,他一马当先,其他人都难以望其项背。

日本人曾经研究过ASML,他们发现,ASML的一台EUV光刻机有超过10万个零件,其中90%的零部件都依赖外购。

有美国Cymer的光源(2013年被ASML收购),有德国蔡司的顶级镜头,有英特尔的技术分配,有瑞典的轴承,有法国的阀件,等等等等……

ASML作为集大成者,自己需要做的主要是设计和组装,不需要管工厂生产。

换句话说,ASML作为顶级光刻机的背后,是全世界多个国家的顶尖技术的通力配合,整个人类上百年科技的结晶,更是全球化的产物。

如果中国的光刻机击败了ASML,不是中国单挑赢了荷兰,而是中国单挑赢了全世界。中国,加油!

7. 为什么中国买不到荷兰光刻机

因为光刻机制造芯片的过程中需要用到俄罗斯的惰性气体。

荷兰光刻机制造芯片的过程中会用到大量惰性气体。包括氖、氩、氙等稀有或惰性气体,在芯片制程过程中的重要性几乎无法取代。大到光刻机的生产,小到晶片的光刻封装,都离不开惰性气体的辅助。俄罗斯向全球供应的惰性气体,约占据了市场总份额的30%。此外,另一大供应商的乌克兰,位于马里乌波尔和敖德萨的工厂,也由于特殊的原因无法对外正常出货氖气。其实也不能说荷兰光刻机离不开俄罗斯,只是供需紧张