什么是光刻机概念(什么是光刻机百科)

海潮机械 2023-02-06 04:52 编辑:admin 242阅读

1. 什么是光刻机百科

刻蚀相对光刻要容易。光刻机把图案印上去,然后刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案(或者没有图案)的部分,留下剩余的部分。“光刻”是指在涂满光刻胶的晶圆(或者叫硅片)上盖上事先做好的光刻板,然后用紫外线隔着光刻板对晶圆进行一定时间的照射。原理就是利用紫外线使部分光刻胶变质,易于腐蚀。“刻蚀”是光刻后,用腐蚀液将变质的那部分光刻胶腐蚀掉(正胶),晶圆表面就显出半导体器件及其连接的图形。然后用另一种腐蚀液对晶圆腐蚀,形成半导体器件及其电路。扩展资料:光刻机一般根据操作的简便性分为三种,手动、半自动、全自动1.手动:指的是对准的调节方式,是通过手调旋钮改变它的X轴,Y轴和thita角度来完成对准,对准精度可想而知不高了;2.半自动:指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐;3.自动: 指的是 从基板的上载下载,曝光时长和循环都是通过程序控制,自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要。参考资料:百度百科-光刻机,百度百科-刻蚀

2. 光刻机用的是什么光

光刻机分类按曝光方式主要分三类。

接触式曝光,掩膜板直接与光刻胶层接触。曝光出来的图形与掩膜板上的图形分辨率相当,设备简单。接近式曝光,掩膜板与光刻胶基底层保留一个微小的缝隙(Gap),Gap大约为0~200μm。投影式曝光,在掩膜板与光刻胶之间使用光学系统聚集光实现曝光。一般掩膜板的尺寸会以需要转移图形的4倍制作。如果按工序分又分为三种,掩模光刻机、蚀刻光刻机和LED光刻机。

3. 光刻机是个啥

没有001nm这种光刻机概念。

001nm光刻机是不可能产生的,如果是0.01nm的话,这个制程比硅原子小25倍,目前人类根本没法分割原子,也没有何时的光源和技术能达到这个制程。如果是1纳米,以目前的极紫外光光刻机也是不可能达到的,如果换其他光源比如X光又无法控制,根本做不出批量生产的光刻机。所以001nm光刻机不仅没研究,也不存在这个概念。

4. 光刻机是啥

内部的样子:

外部的样子:

光刻机就是按照工程师给的设计图,在硅片这个地基上把芯片这座城市盖起来。但是现在芯片的功能越来越复杂,电子产品的体积却越来越小,100mm²左右的面积上要集成上百亿个晶体管。

5. 什么是光刻机?

没有一纳米光刻机。

通常说纳米是芯片的栅极宽度,目前人类已经商用的芯片可以做到4纳米。而光刻机的纳米并非如此,目前最高端的荷兰阿斯麦尔euv光刻机是13.5纳米的极紫外光,像台积电、三星这样的代工厂通过先进技术,用这个波长的极紫外光去刻制更宽度小于13.5纳米的晶体管,比如5纳米、4纳米,但光刻机依然是13.5纳米的。目前人类也没能力做一纳米光刻机。

6. 光刻机 百科

EUV极紫外光刻(Extreme Ultra-Violet)是一种使用极紫外(EUV)波长的新一代光刻技术,其波长为13.5纳米。由于光刻精度是几纳米,EUV对光的集中度要求极高,相当于拿个手电照到月球光斑不超过一枚硬币。反射的镜子要求长30cm起伏不到0.3nm,相当于北京到上海的铁轨起伏不超过1毫米。一台EUV光刻机重达180吨,超过10万个零件,需要40个集装箱运输,安装调试要超过一年时间。