南大光刻机(南大光电光刻胶)

海潮机械 2023-02-08 00:02 编辑:admin 86阅读

1. 南大光电光刻胶

光刻胶是指在光刻前涂在硅晶圆上的材料,只有涂了光刻胶的硅晶圆,才能够用光刻机将电路图刻到硅晶圆上。

而光刻胶按照技术难度、工艺等可以分为5种,分别为g线、i线、KrF、ArF、EUV。前两种是最常见的,也是最低端光刻胶,用于250nm以上工艺。

而KrF一般用于250nm-130nm工艺;ArF一般用于130nm-14nm,最多可以用于7nm DUV工艺;EUV光刻胶就是配合和EUV光刻机的了,一般用于7nm及以下工艺。

目前国内光刻胶的自给率大约在10%左右,并且能够生产的光刻胶,一般是g线、i线、KrF光刻胶,至于ArF、EUV光刻胶?不好意思,生产不了,主要得从日本进口。

不过在去年12月份,国内有一家厂商南大光电表示自己研发出了KrF光刻胶,已经通过验证,可用于45nm工艺,当时很多人质疑。

而在南大的业绩说明会上,南大光电正式表示,自己的ArF光刻胶已拿下第一笔订单,性能达到了日本产品的同等水平,得到了一家闪存客户的认可和使用。

不仅如此,南大光电还表示,自己的ArF光刻胶的相关原材料和生产设备已实现国产化,制程工艺可以满足45nm-90nm光刻需求,不需要依赖国外,产能是25吨每年。

南大光电其实是在2017年就开始研发ArF光刻胶的,到现在已经3年多时间,才成功生产出来,并有了第一家客户使用,可见真的不容易。

当然,从制程工艺术来看,45-90nm也不算特别先进,但ArF光刻胶最多是可以实现到7nm DUV工艺,只要能够生产ArF光刻胶了,那么再调整精度,相信达到7nm也不是特别大的问题了。

2. 南大光电光刻胶最新消息

是真的。

南大光电目前在宁波已经安装完成第一条ArF193nm纳米光刻胶生产线。 目前该产线处于调试阶段。研发产品在测试中,认证过程中尚未形成量产和销售。整个ArF193nm光刻胶研发与产业化项目预计202年底通过02专家验收。

南大光电是光刻胶龙头,国内唯一一家生产ArF193nm的企业。是国外的代替产品。

3. 南大光电光刻胶取得重大突破

南大的该专业在国内认可度非常高的。因为光电光刻胶本来就是南大的优势专业,该专业在国内比较有地位,导师专业性高

4. 南大光电光刻胶扩产

光电材料mo源,光刻胶,氧化镓,半导体材料特气等

5. 南大光电光刻胶进展

1.EDA软件(电子设计自动化) 国产龙头:华大九天(301269) 

2.存储芯片 国产龙头:兆易创新(603986)、北京君正(300233) 

3.CPU-中央处理器 国产龙头:龙芯中科(688047)

 4.GPU-图形处理器 国产龙头:景嘉微(300474) GPU被国外三巨头垄断,分别是英特尔(63%)、英伟达(18%)、AMD(19%)

 5.MCU-微控制器 国产龙头:兆易创新(603986)

 6.FPGA-半定制电路芯片 国产龙头:紫光国微(002049)、复旦微电(688385)7.DSP-数字信号处理器国产龙头:国睿科技(600562)、四创电子(600990) 

8.触控与指纹识别芯片 国产龙头:汇顶科技(603160) 

9.射频前端芯片 国产龙头:卓胜微(300782) 

10.模拟芯片 国产龙头:圣邦股份(300661) 11.LED 国产龙头:三安光电(600703) 12.miniLED 国产龙头:京东方A(000725)、TCL科技(000100) 

13.IGBT 国产龙头:斯达半导(603290) 14.MOSFET 国产龙头:华润微(688396) 15.功率二极管 国产龙头:扬杰科技(300373) 

16.晶闸管 国产龙头:捷捷微电(300623) 17.晶振 国产龙头:泰晶科技(603738) 18.MLCC-片式多层陶瓷电容 国产龙头:风华高科(000636)

 19.MEMS-传感器 国产龙头:敏芯股份(688286)

 20.代工制造 国产龙头:中芯国际(688981)

21.封装测试 国产龙头:长电科技(600584) 

22.硅片 国产龙头:沪硅产业(688126)、立昂微(605358)

 23.光刻胶 国产龙头:南大光电(300346) 24.电子特气 国产龙头:华特气体(688268)

 25.湿电子化学品 国产龙头:江化微(603078) 

26.靶材 国产龙头:有研新材(600206)、江丰电子(300666)

 27.CMP抛光材料 国产龙头:安集科技(688019)(抛光液)、鼎龙股份(300054)(抛光垫) 

28.氮化镓GaN 国产龙头:英诺赛科(未上市) 

29.碳化硅SiC 国产龙头:露笑科技(002617)

 30.光刻机 国产龙头:上海微电子(未上市)

6. 南大光电光刻胶怎么样

1、大族激光(002008),最新股价39.35元,总市值419.89亿:2021年6月17日公司在互动平台称:公司在研光刻机项目分辨率3-5μm,主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用,今年有望实现小批量销售。

  2、张江高科(600895),最新股价16.40元,总市值253.99亿:2021年3月,公司在互动平台表示,上海张江浩成创业投资有限公司2021年投资了上海微电子装备有限公司22,345万元,投资比例为10.779%。

  3、晶方科技(603005),最新股价55.50元,总市值188.34亿:2021年6月,公司在互动平台表示,荷兰光刻机制造商ASML为公司参与并购的荷兰Anteryon公司的最主要客户之一。Anteryon为全球同时拥有混合镜头、晶圆级微型光学器件工艺技术设计、特性材料及量产能力的技术创新公司,其产品可广泛应用于半导体精密设备、工业自动化、汽车、安防、3D传感器为代表的消费类电子等应用领域。

  4、赛微电子(300456),最新股价21.39元,总市值136.71亿:2021年6月,公司在互动易平台披露:公司一直为全球光刻机巨头厂商提供透镜系统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务。ASML为公司商业合作伙伴。公司瑞典与北京分别拥有数台光刻机;瑞典产线2021-2021年产能利用率一直保持在80%以上的高水平

  5、万业企业(600641),最新股价13.92元,总市值133.34亿:全资子公司凯世通采取“领先一步”的策略、采用有国际竞争力的设计理念,着力研制16纳米及以下制程的FinFET集成电路离子注入机,并针对研制低能大束流离子注入机所需要解决的关键技术和技术难点,建立起相应的研发平台、相关核心关键技术及工艺的研究参数数据库和性能检测规范标准。2021年凯世通的低能大束流离子注入机迁机成功,顺利进入离子注入晶圆验证阶段。参股公司上海半导体装备材料基金持有华卓精科2.08%股权。

  6、上海新阳(300236),最新股价41.58元,总市值120.85亿:2021年2月,公司在互动易平台表示,中芯国际是公司的主要客户之一。2021年2月,公司在互动易平台披露,公司KRF光刻机能支持96层3DNAND用光刻胶研究,及250nm、130nm工艺制程逻辑电路用光刻胶研究。公司正在加快开发第三大核心技术——光刻技术,在集成电路制造用ArF干法、KrF厚膜胶、I线等高端光刻胶领域已有重大突破。同时,积极布局半导体硅片、半导体湿法工艺设备、平板液晶显示用光刻胶等业务领域。

  7、南大光电(300346),最新股价28.13元,总市值114.46亿:超募资金投资”ArF光刻胶产品的开发与产业化”项目。

  8、飞凯材料(300398),最新股价15.60元,总市值80.47亿:公司从事PCB光刻胶专用化学品。

  9、*ST胜利(002426),最新股价2.08元,总市值71.58亿:胜利精密计划募资不超过20亿元,投向光刻机产业化。

  10、华特气体(688268),最新股价57.49元,总市值68.99亿:华特气体是特种气体龙头企业。

7. 南大光电光刻胶产能

2.南大光电:公司亮点:MO源产业化生产的企业。

3.容大感光:公司亮点:行业内生产PCB感光油墨产品品种最为齐全的企业之一。

4.江化微:公司亮点:国内湿电子化学品龙头。

5.上海新阳:公司亮点:主营半导体行业所需电子化学品,同时参股子公司已量产大硅片。