1. 光刻机工厂
不具备。光刻机是用来制造芯片的。光刻机又被称为掩模对准曝光机或者曝光系统、光刻系统等。光刻机是用来制造芯片的核心装备之一。光刻机是一种采用类似于照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形经过光线的曝光印制到硅片上的装备。不具备的原因是：1、技术上壁垒高。2、时间周期长。
3、更换供应商成本太高。
买到一台机器和用好机器是两码事。ASML极紫外（EUV）光刻机每台售价达到1.2亿美元，重达180吨，零件超过10万个，运输时能装满40个集装箱，安装调试时间超过一年。除此之外，磨合与提高良率都需要时间堆砌，只要没有大的技术变革，厂商们不可能轻易放弃ASML当其他厂商的小白鼠的。
台积电（占据全球晶圆代工的大半壁江山）、三星、英特尔、格罗方德包括国内的中芯国际都是ASML的客户，其中三星、英特尔、格罗方德还是ASML的股东，三大巨头转投其他家的可能不大。
2. 光刻机科技
至纯科技28nm是生产工艺并不是光刻机。
根据媒体透露的消息，显示至纯科技已经实现了对于28nm节点的全部湿法工艺设备的认证。湿法工艺设备主要起到清洗的作用，可以有效的清洗晶圆表面的颗粒、金属离子以及一些氧化层等等，在最大程度上去除晶圆上的杂质，一般的清洗原理主要分为干式以及湿式两种，由于湿式的整体工作效率更好，因此国内超过百分90%的步骤都是源自于此，而国内的至纯科技主要就是生产清洗设备的。
3. 光刻机 公司
01 北方华创
02 芯源微
03 清溢光电
04 华特气体
05 大族激光
06 永太科技
07 奥普光电
08 胜利精密
09 南大光电
10 容大感光
蓝英装备
上海新阳、
4. 光刻机制造厂家
目前国产仅有的光刻机品牌厂家为--上海微电子
上海为微电子成立于2002年，是我国现在仅有的一家光刻机厂家，可以说上海微电子承载了我国在半导体行业所有的压力。
历时近20年的时间，上海微电子已经掌握了先进封装光刻机的技术点，可以说上海微电子现在投入的技术不亚于世界最大光刻机公司ASML的力度。
5. 光刻机中国工厂
东方晶源不制造光刻机。
东方晶源并不是制造光刻机的企业，也不是使用光刻机代工的企业。东方晶源是为芯片制造工厂提供技术服务的。比如东方晶源旗下电子束缺陷检测产品（EBI），应用电子束扫描技术对硅片表面进行高分辨率成像，以提高良品率。比如（OPC）技术，可以对光刻制程精确建模，优化工艺窗口，确保良品率。制造关键尺寸检测设备（CD-SEM），通过电子束显微图像进行关键尺寸测量。