一、南大光刻机
1、大族激光（002008），最新股价39.35元，总市值419.89亿：2021年6月17日公司在互动平台称：公司在研光刻机项目分辨率3-5μm，主要聚焦在分立器件、LED等领域的应用，今年有望实现小批量销售。
2、张江高科（600895），最新股价16.40元，总市值253.99亿：2021年3月，公司在互动平台表示，上海张江浩成创业投资有限公司2021年投资了上海微电子装备有限公司22，345万元，投资比例为10.779%。
3、晶方科技（603005），最新股价55.50元，总市值188.34亿：2021年6月，公司在互动平台表示，荷兰光刻机制造商ASML为公司参与并购的荷兰Anteryon公司的最主要客户之一。Anteryon为全球同时拥有混合镜头、晶圆级微型光学器件工艺技术设计、特性材料及量产能力的技术创新公司，其产品可广泛应用于半导体精密设备、工业自动化、汽车、安防、3D传感器为代表的消费类电子等应用领域。
4、赛微电子（300456），最新股价21.39元，总市值136.71亿：2021年6月，公司在互动易平台披露：公司一直为全球光刻机巨头厂商提供透镜系统MEMS部件的工艺开发与晶圆制造服务。ASML为公司商业合作伙伴。公司瑞典与北京分别拥有数台光刻机；瑞典产线2021-2021年产能利用率一直保持在80%以上的高水平
5、万业企业（600641），最新股价13.92元，总市值133.34亿：全资子公司凯世通采取“领先一步”的策略、采用有国际竞争力的设计理念，着力研制16纳米及以下制程的FinFET集成电路离子注入机，并针对研制低能大束流离子注入机所需要解决的关键技术和技术难点，建立起相应的研发平台、相关核心关键技术及工艺的研究参数数据库和性能检测规范标准。2021年凯世通的低能大束流离子注入机迁机成功，顺利进入离子注入晶圆验证阶段。参股公司上海半导体装备材料基金持有华卓精科2.08%股权。
6、上海新阳（300236），最新股价41.58元，总市值120.85亿：2021年2月，公司在互动易平台表示，中芯国际是公司的主要客户之一。2021年2月，公司在互动易平台披露，公司KRF光刻机能支持96层3DNAND用光刻胶研究，及250nm、130nm工艺制程逻辑电路用光刻胶研究。公司正在加快开发第三大核心技术——光刻技术，在集成电路制造用ArF干法、KrF厚膜胶、I线等高端光刻胶领域已有重大突破。同时，积极布局半导体硅片、半导体湿法工艺设备、平板液晶显示用光刻胶等业务领域。
7、南大光电（300346），最新股价28.13元，总市值114.46亿：超募资金投资”ArF光刻胶产品的开发与产业化”项目。
8、飞凯材料（300398），最新股价15.60元，总市值80.47亿：公司从事PCB光刻胶专用化学品。
9、*ST胜利（002426），最新股价2.08元，总市值71.58亿：胜利精密计划募资不超过20亿元，投向光刻机产业化。
10、华特气体（688268），最新股价57.49元，总市值68.99亿：华特气体是特种气体龙头企业。
二、南光光刻机
成都鑫南光机械设备有限公司，生产光刻机，真空炉子，真空设备，真空干燥设备，G—43B9型高精密单面光刻机，真空片吸盘，真空硬接触。
三、南大光电生产光刻机吗
北京科华是唯一被SEMI列入全球光刻胶八强的中国光刻胶公司，其研发进度国内领先，该公司的KrF光刻胶已经实现量产，在2012年12月建成KrF（248纳米）光刻胶产线。南大光电自主研发的ArF光刻胶产品已经成功通过武汉新芯的使用认证，成为通过产品验证的第一家国产ArF光刻胶企业，目前，南大光电建有ArF光刻胶产品大规模生产线，将形成年产25吨ArF（干式／浸没式）光刻胶产品的生产能力，产品性能可以满足90 nm－14 nm集成电路制造的要求。
四、南大光电光刻胶
1.EDA软件（电子设计自动化） 国产龙头：华大九天（301269）
2.存储芯片 国产龙头：兆易创新（603986）、北京君正（300233）
3.CPU-中央处理器 国产龙头：龙芯中科（688047）
4.GPU-图形处理器 国产龙头：景嘉微（300474） GPU被国外三巨头垄断，分别是英特尔（63%）、英伟达（18%）、AMD（19%）
5.MCU-微控制器 国产龙头：兆易创新（603986）
6.FPGA-半定制电路芯片 国产龙头：紫光国微（002049）、复旦微电（688385）7.DSP-数字信号处理器国产龙头：国睿科技（600562）、四创电子（600990）
8.触控与指纹识别芯片 国产龙头：汇顶科技（603160）
9.射频前端芯片 国产龙头：卓胜微（300782）
10.模拟芯片 国产龙头：圣邦股份（300661） 11.LED 国产龙头：三安光电（600703） 12.miniLED 国产龙头：京东方A（000725）、TCL科技（000100）
13.IGBT 国产龙头：斯达半导（603290） 14.MOSFET 国产龙头：华润微（688396） 15.功率二极管 国产龙头：扬杰科技（300373）
16.晶闸管 国产龙头：捷捷微电（300623） 17.晶振 国产龙头：泰晶科技（603738） 18.MLCC-片式多层陶瓷电容 国产龙头：风华高科（000636）
19.MEMS-传感器 国产龙头：敏芯股份（688286）
20.代工制造 国产龙头：中芯国际（688981）
21.封装测试 国产龙头：长电科技（600584）
22.硅片 国产龙头：沪硅产业（688126）、立昂微（605358）
23.光刻胶 国产龙头：南大光电（300346） 24.电子特气 国产龙头：华特气体（688268）
25.湿电子化学品 国产龙头：江化微（603078）
26.靶材 国产龙头：有研新材（600206）、江丰电子（300666）
27.CMP抛光材料 国产龙头：安集科技（688019）（抛光液）、鼎龙股份（300054）（抛光垫）
28.氮化镓GaN 国产龙头：英诺赛科（未上市）
29.碳化硅SiC 国产龙头：露笑科技（002617）
30.光刻机 国产龙头：上海微电子（未上市）
五、南大光电光刻机是什么型号
中国目前是可以制造出光刻机的，比如上海微电子，目前上海微电子在光刻机制造上是赶上了日本的佳能；但如果是能够造出高端光刻机，答案可能就有点玄了。就像很多专家说，这比原子弹还难。
目前在整个芯片制造的流程中，芯片级别的单晶硅棒，江苏的新美光是刚刚取得突破，已经能够制造出18寸的单晶硅棒，这已经是世界先进的水平了。光刻机启动一次成本是不变的，如果单晶硅棒的横切面（晶圆）越大，那么加工出来的芯片就越多，效益就越好。
在光刻胶这一块，同是江苏企业的南大光电就做得相当棒，研制出了193nm可以用于ArF光源的光刻胶，这东西是涂在晶圆上面的，里面有光敏物质，ArF光源打在上面的时候就会起反应，为的就是将华为海思等设计出来的芯片光罩的电路光刻在上面。
此外还有蚀刻、切割、封装。检测等等的工序。尽管目前国内是取得了突破，但是距离国际 先进水平还是有很大的差距，就像中微的尹志尧说的，不要老是吹捧……最难的还是光刻，蚀刻机只是画笔，但是控制才是画家。
光刻和蚀刻控制的难度有多高呢？就像两架超音速飞行飞机，上面乘客要做出一模一样的动作那样，光刻机难的就是光刻控制，可以说是人类工业的明珠的桂冠，中国很难靠一国之力研制出来。
为什么呢？看看首先机床得用瑞典的，材料在日本手上，德国的机械控制和镜头，台积电林本坚的微影技术，美国的激光武器有名吧？美国在光源技术上是世界领先。同时中国台湾和韩国三星大把地投钱。
在这种情况下，都不确定能否研制的出来。所以中国很难，真的想要靠一己之力研制高端光刻机可能性很低。但是也不是说不能。