1. 精密机械手臂
1、清洁、擦拭机械手：每天下班前擦拭机器，保持机械手外观清洁；
2、过滤减压阀排水：每天开机前排放过滤阀内的积水；
3、检查气压来源的压力及空气的干燥度；
4、检查负压传感器是否正常(没吸到产品是否报警)；
5、夹具检测磁环开关是否正常(没夹到产品或料把是否报警)；
6、机械手和注塑机联锁是否正常(机械手在手动状态注塑机是否不锁模并报警)。
二、机械手每周保养
1、擦拭导轨，润滑：把导杆、导轨上的旧黄油擦拭干净，重新抹上新的润滑油，以黄油最佳，特别要注意机台有PVC等有腐蚀性原料的机台，导轨一定要保持润滑；
2、过滤减压阀排水：同上；
3、检查气压来源的压力及空气的干燥度；
4、检查负压传感器是否正常(没吸到产品是否报警)；
5、夹具检测磁环开关是否正常(没夹到产品或料把是否报警)；
6、注塑机专用机械手注塑机联锁是否正常(注塑机专用机械手在手动状态注塑机是否不锁模并报警)；
7、检查注塑机专用机械手与注塑机间的连接螺栓是否锁紧是否松动；
8、检查各个行程控制挡块的设定螺栓有无锁紧是否松动。
横行导轨部位
三、机械手每月保养
1、检查同步带松紧度是否恰当；
2、清洗过滤减压阀、消音器；
3、调整各动作的运行速度；
4、检查负压传感器是否正常(没吸到产品是否报警)；
5、夹具检测磁环开关是否正常(没夹到产品或料把是否报警)；
6、机械手与注塑机联锁是否正常(机械手在手动状态注塑机是否不锁模并报警)；
7、检查所有运动部位的螺栓有无锁紧是否松动；
8、确定管线有无破裂或电线连接是否松动松脱；
9、擦拭注塑机专用机械手手臂上的灰尘、油，确保注塑机专用机械手清洁；
10、擦拭注塑机专用机械手滑轨、滑块油迹灰尘，添加新的润滑油；
11、检查电控箱内部：清扫灰尘，检查接线端子、继电器插头、电路板上的电子元器件是否有松动松脱。
横行同步带部位
四、机械手日常保养注意事项
机械手每日往复运动，尤其注塑机专用机械手臂每一周期上下往复运动两次，而且在模内上下速度甚快，上下避震要求非常高。如果缓冲失效，气动执行元件在往复运动停止定位时，无避震功能，造成注塑机专用机械手震动大。注塑机专用机械手连接部位大多数是螺丝固定，由于长期震动造成螺丝松动松脱，必定会造成注塑机专用机械手散架，部件的连接块断裂等。由于注塑机专用机械手震动的原因造成电线接头松动松脱，继电器松动松脱，造成电路线路接触不良等现象。导致注塑机专用机械手乱动作，电控死机，烧坏电控等现象。
1、油压缓冲器：RUNMA为所有客户提供12个月保质期。如缓冲效果不好时，一定要更换掉，以免因缓冲器造成二次损坏（气缸损坏）。
油压缓冲器部位
2、气动元件：简易型、多功能机械手的各动作全部依赖于气源推动，必须气源稳定波动性小、无水。因为气与水是两种不同的介质，气体无形，水有形，电磁阀属精密元器件，水在电磁、气管、气缸内滞留会产生水垢，造成换向电磁阀卡死、窜气、气封磨损，气缸窜气、漏气等，气缸动作时出现无力、爬行、无动作或突然快动作，气管、接头爆裂等现象。
手臂上下气压（速度）调节
3、 配件更换：24个月左右更换气缸端盖密封件、检查气管、接头(不包括伺服驱动机械手)。
航空插头--检查插针有没有氧化接触不良
4、 12个月定期检查整理电线接头、插头、插座等。
检查电箱内驱动器接线插头部位
5、导轨、导杆严禁用水擦拭，放置生锈。比如：模具的水管破裂，水喷到机械手导轨上，处理好漏水后，必须第一时间将导轨的水擦拭干净并重新打黄油保持润滑，否则导轨生锈导致横行卡死。
6.擦拭机械手机身，切勿用天那水或稀释剂擦拭，以免机身油漆被擦掉。
2. 机械手臂精度
机械手臂根据结构形式的不同分为多关节机械手臂，直角坐标系机械手臂，球坐标系机械手臂，极坐标机械手臂，柱坐标机械手臂等。
水平多关节机械手臂一般有三个主自由度，Z1转动，Z2转动，Z移动。通过在执行终端加装X转动，Y转动可以到达空间内的任何坐标点。直角坐标系机械手臂有三个主自由度。X移动，Y移动，Z移动组成，通过在执行终端加装X转动，Y转动，Z转动可以到达空间内的任何坐标点。
从驱动上来讲，主要采用的是液压驱动，即采用液压缸来驱动手臂运动。也可采用气动、电机传动等形式。
下面针对不同类型的机械臂，了解一下它们的自由度结构。
1、太空机械臂
以太空机械臂为例，一般它分为舱内机械臂和舱外机械臂两大类。一般舱内机械臂尺寸不大。对于舱外机械臂而言，一般从几米到几十米。针对不同的任务需求，自由度从5个到10个不等。通过利用机械臂的定位功能，通过不同形势手爪的使用，可以完成对于航天器舱内和舱外不同目标的拾取、搬运、定位和释放。
2、工业机器人机械臂
在工业机器人领域，设计中一般采取6个自由度。前三个自由度用来确定位置，后三个来确定姿态，实现机械臂的控制。6个自由度分别为：沿x轴平移，沿y轴平移，沿z轴平移，绕x轴转动，绕y轴转动，绕z轴转动。
一个基准面与工件底面重合，限制了工件沿z轴平移，绕x轴转动，绕y轴转动3个自由度;
二个基准面又与工件后侧面重合，限制了工件沿x轴移动，绕z轴转动2个自由度;
三基准面与工件另一个侧面重合，就把剩下的最后一个自由度：沿y轴移动限制了。
3、手术机器人机械臂
在医疗领域，不同于普通机器人机械臂，手术机器人的机械臂往往需要很高的精度。手术机器人的机械臂运动过程中，机械臂必须实现平稳顺滑，能够快速响应指令。一般手术机器人结构需要根据手术环境来调整，这样才能满足手术的不同要求。
达芬奇外科手术机器人的系统中的每一个机械臂具有7个自由度。其中，每个微器械具有独立的4个自由度，机械臂提供3个自由度，这样器械末端具有7个自由度。整体来说，其具有很高的灵活性。
一般来说，随着机械臂的自由度增加，运动灵活性会增加。但是，自由度却并非越高越好。一般的专用机械手只有2～4个自由度，而通用机械手则多数为3～6个自由度（不包手指的抓取动作）。
3. 机械手机械臂
可能是机械手大拇指内的故障，
将机械手大拇指拆下了看里面有无绣死，磨损等现象。如有急事处理，并更换大拇指弹簧。
4. 高精度机械手臂
1.工业机器人的组成
工业机器人一般由执行机构、控制系统、驱动机构及位置检测机构的等部分组成。
1.执行机构
执行机构是一种具有和人手脚相似动作功能的机械装置，又称操作机，有以下几个部分组成
1)手部 称抓取机构或夹持器，用于直接抓取工件或工具。若在手部安装专用工具，如焊枪、电钻、电动螺钉拧紧器等，就构成了专用的特殊手部。工业机器人手部有机械夹持式、真空吸附式、磁性吸附式等不同的结构形式。
2）腕部 接手部和手臂的部件，用以调整手部的姿态和方位。
3）臂部 撑手腕和手部的部件，由动力关节和连杆组成，用以承受工件或工具负荷。
4）机座与立柱 是支撑整个机器人的基础件，起到连结和支承的作用，控制机器人的活动范围和改变机器人的位置。
2.控制系统
控制系统是机器人的大脑，控制与支配机器人按给定的程序动作，并记忆人们示教的指令信息，如动作顺序、运动轨迹、运动速度等，可再现控制所存储的示教信息。
3.驱动系统
是机器人执行作业的动力源，按照控制系统发来的控制指令驱动执行机构完成规定的作业。常用的驱动系统有机械式、液压式、气动式以及驱动等不同的驱动形式。
(4)位置检测装置 通过附设的力、位移、触觉、视觉等不同的，检测机器人的运动位置和工作状态，并随时反馈给控制系统，以便执行机构以一定的精度和速度达到设定的位置。
2.工业机器人的分类
机器人分类方法很多，这里仅按机器人的系统功能、驱动方式以及机器人的结构形式进行分类。
(1)按系统功能分类
1)专用机器人：在固定地点以固定程序工作的机器人，其结构简单、工作对象单一、无独立控制系统、造价低廉，如附设在机床上的自动换刀机械手。
2)通用机器人：具有独立控制系统，通过改变控制程序能完成多种作业的机器人。其结构复杂，工作范围大，定位精度高，通用性强，适用于不断变换生产品种的柔性制造系统。
3)示教再现式机器人：具有记忆功能，在操作者的示教操作后，能按示教的顺序、位置、条件与其他信息反复重现示教作业。
4)智能机器人：采用，具有视觉、听觉、触觉等多种感觉功能和识别功能的机器人，通过比较和识别，自主作出决策和规划，自动进行信息反馈，完成预定的动作。
(2)按驱动方式分类
1)气压传动机器人：以压缩空气作为动力源驱动执行机构运动的机器人，具有动作迅速、结构简单、成本低廉的特点，适用于高速轻载、高温和粉尘大的环境作业。
2)液压传动机器人：采用液压驱动，具有负载能力强、传动平稳、结构紧凑、动作灵敏的特点，适用于重载、低速驱动场合。
3)电气传动机器人：用交流或直流伺服驱动的机器人，不需要中间转换机构，机械结构简单、响应速度快、控制精度高，是近年来常用的机器人传动结构。
(3)按结构形式分
1)直角坐标型机器人：这类机器人的手部在空间由三个相互垂直的方向x、y、z上作移动运动，运动是独立的。其控制简单，运动直观性强，易达到高精度，定位精度高，但操作灵活性差，运动的速度较低，操作范围较小而占据的空间相对较大。
2)圆柱坐标型机器人：这类机器人在水平转台上装有立柱，其立柱安装在回转机座上，水平臂可以自由伸缩，并可沿立柱上下移动。其工作范围较大，运动速度较高，但随着水平臂沿水平方向伸长，其线位移分辨精度越来越低。
3)球坐标型机器人：也称极坐标型机器人，由回转机座、俯仰铰链和伸缩臂组成，具有两个旋转轴和一个平移轴。工作臂不仅可绕垂直轴旋转，还可绕水平轴作俯仰运动，且能沿手臂轴线作伸缩运动。其操作比圆柱坐标型更为灵活，并能扩大机器人的工作空间，但旋转关节反映在未端执行器上的线位移分辨率是一个变量。
4)关节型机器人： 这类机器人由多个关节联接的机座、大臂、小臂和手腕等构成，大小臂之间用铰链联接形成肘关节，大臂和立柱联接形成肩关节，大小臂既可在垂直于机座的平面内运动，也可实现绕垂直轴的转动。其操作灵活性最好，运动速度较高，操作范围大，但精度受手臂位姿的影响，实现高精度运动较困难。它能抓取靠近机座的物件，也能绕过机体和目标间的障碍物去抓取物件，具有较高的运动速度和极好的灵活性，成为最通用的机器人。
5. 机械手臂零件
原理：
伯努利机械手(吸盘)就是利用了伯努利原理的机械手，机械手的喷气口中喷出的气体(例如氮气等惰性气体)遇到圆盘的表面(例如上表面，当然也可以是下表面，以上表面为例陈述仅仅是示例性的)后，气体自圆盘上表面迅速扩散，使得圆盘上表面的气流速度大于下表面的气流速度，根据伯努利原理可知，此时圆盘下表面的气压大于圆盘上表面的气压，因而使圆盘被吸附在伯努利机械手上。
在晶圆加工过程中，伯努利机械手通过伯努利原理吸附晶圆，把晶圆放在具有真空吸附功能的真空卡盘上后，机械手放开晶圆。同时真空卡盘通过多孔真空吸附把晶圆吸附到真空卡盘上。工艺结束后真空卡盘停止真空吸附，伯努利机械手吸附晶圆，把晶圆从真空卡盘上取下，并带出工艺腔室。
伯努利机械手主要用于吸附薄片小于200um厚度的晶圆，晶圆薄片脆且易碎、翘度大。在伯努利机械手将晶圆放到真空卡盘上时，如果是伯努利机械手先将晶圆放到真空卡盘上，然后真空卡盘再开启真空吸附，那么晶圆容易出现滑片现象，放置的位置出现偏差，影响整张晶圆的工艺效果的均匀性。如果是真空卡盘先开启真空吸附，伯努利机械手再将晶圆放到真空卡盘上，容易导致晶圆的翘度增加，同时易导致晶圆破碎。
6. 高精度机械臂
你用伺服电机控制，用位置或力矩模式应该都是不错的选择，功率选最高的50W或者100W绰绰有余，或者定制更小的。既然要求这么高，就找军工配套企业的产品吧。但这样一来，可能电机和驱动厂家不是同一个，对问题的出现和解决要有心理准备。